标簽：半導體設備

工商信息顯示，6月22日，上海聚源聚芯集成(chéng)電路産業股權投資基金中心（有限合夥）（以下簡稱“聚源聚芯”）新增投資盛吉盛（甯波）半導體科技有限公司。

據悉，聚源聚芯成(chéng)立于2016年，其股東包括國(guó)家集成(chéng)電路産業投資基金股份有限公司持股（45.09%）、上海榮芯投資管理合夥企業（有限合夥）（22.6%）、上海肇芯投資管理中心（有限合夥）（0.68%）、中芯晶圓股權投資（甯波）有限公司（31.63%）。

目前，聚源聚芯的對(duì)外投資企業達到30家，包括得一微電子、東微半導體、東芯半導體、世紀金光、傑華特微電子、芯碁微裝、南芯半導體等。

官網顯示，盛吉盛（甯波）半導體科技有限公司（Semiconductor Global Solutions）由國(guó)家集成(chéng)電路産業基金下屬芯鑫租賃（Sino-IC Leasing）、中芯控股（SMIC holding）、韓國(guó)Triplecores及芯空間(IC SPACE)共同出資打造，于2018年落戶甯波鄞州。盛吉盛主要從事(shì)二手半導體設備及配件的翻新、改造、安裝、維護及銷售；半導體設備的開(kāi)發(fā)，生産及銷售；盛吉盛專注于半導體新設備的開(kāi)發(fā)和銷售，并提供半導體制造相關的備件和技術服務，以及持續改善計劃。

6月21日，蘇州天準科技股份有限公司（以下簡稱“天準科技”）發(fā)布公告稱，拟以自有資金或依法籌措的資金，受讓DeutscheEffecten- und Wechsel-Beteiligungsgesellschaft AG公司和Ralph Detert先生合計持有的MueTec Automated Microscopy and Messtechnik GmbH公司(以下簡稱“MueTec公司”)的100%股權。

根據公告，天準科技拟以18,189,203.00歐元的交易價格，通過(guò)在德國(guó)設立的全資子公司SLSS Europe GmbH爲收購主體，受讓MueTec公司100%股權，并受讓标的公司債權人的債權200.00萬歐元。

根據公告，MueTec公司注冊資本50萬歐元，成(chéng)立于1991年，主營業務系爲半導體領域的制造廠商提供針對(duì)晶圓類産品的高精度光學(xué)檢測和測量設備。2018年、2019年MueTec公司實現的淨利潤分别爲62.9萬歐元、62.2萬歐元。

天準科技表示，半導體行業是一個高速發(fā)展的行業，其中的半導體檢測設備有着巨大的市場空間，開(kāi)拓半導體檢測設備領域的業務，對(duì)于公司具有重要意義。标的公司主營業務是面(miàn)向(xiàng)半導體領域的制造廠商，爲其提供針對(duì)晶圓類産品的高精度光學(xué)檢測和測量設備，擁有多年服務于半導體領域客戶的經(jīng)驗，擁有的技術及産品可對(duì)公司形成(chéng)有益的補充，幫助公司縮短進(jìn)入半導體領域的周期，減少不确定性，以更快地爲公司形成(chéng)新的業績增長(cháng)點。

6月18日，從電科裝備旗下爍科中科信公司傳來喜訊，公司研發(fā)的12英寸中束流離子注入機順利發(fā)往某集成(chéng)電路大産線，這(zhè)台由客戶直接采購的設備如期交付，标志着公司國(guó)産離子注入機市場化進(jìn)程再上新台階。

據介紹，離子注入機是將(jiāng)特定種(zhǒng)類離子以指定參數注入至特定材料中的一種(zhǒng)設備，執行的是核心的摻雜工藝。半導體要做成(chéng)器件，要改變電性能(néng)，必須摻入雜質，離子注入機就是執行摻雜工藝的标準設備。“每一個器件生産過(guò)程中，需要進(jìn)行很多次離子注入，注入到器件不同的位置，注入的次數對(duì)于不同器件類型和工藝節點有差異，例如對(duì)于28nm邏輯器件，注入次數約爲40次。”爍科中科信公司技術總監張叢介紹說。

目前，國(guó)内集成(chéng)電路離子注入設備市場幾乎被國(guó)外壟斷，國(guó)産設備市場份額小，爍科中科信是我國(guó)目前唯一的一家全系列集成(chéng)電路離子注入機集研發(fā)、制造、服務于一體的供應商。在研發(fā)過(guò)程中，研發(fā)團隊攻克了光路、晶圓傳輸、劑量控制、通用軟件系統等離子注入機共性關鍵技術。中束流離子注入機突破了高精度束流角度控制、小發(fā)射度長(cháng)壽命離子源等關鍵技術，大束流離子注入機則進(jìn)一步突破了低能(néng)大流強束流傳輸與控制、支持十餘種(zhǒng)離子的大流強長(cháng)壽命離子源等關鍵技術，高能(néng)離子注入機在高能(néng)（MeV）離子加速、高電荷态離子源等關鍵技術上實現了突破。

追平主流隻是開(kāi)始，成(chéng)體系實現國(guó)産替代才是目标。“爍科中科信公司已形成(chéng)全系列離子注入機産品體系，建立了符合SEMI标準要求的離子注入機産業化平台，年産能(néng)達30台，公司的産品廣泛應用于全球知名芯片制造企業，并獲客戶高度認可。”張叢說，公司自主研制的離子注入機系列産品還(hái)斬獲了北京市科學(xué)技術進(jìn)步一等獎等多項榮譽，在客戶産線上累計跑片650萬片，穩定支撐了客戶量産。除此之外，還(hái)建立了一支專業化的售後(hòu)服務團隊，實行7×24小時響應機制，持續提升客戶體驗，加速國(guó)産化進(jìn)程。

公司負責人說，將(jiāng)進(jìn)一步圍繞攻克核心關鍵技術持續發(fā)力，推進(jìn)中束流和大束流離子注入機産業化，同時，緊跟先進(jìn)工藝發(fā)展，開(kāi)展适用于更先進(jìn)工藝節點的離子注入機的研發(fā)工作，并不斷拓展離子注入機在新興領域的應用。

半導體裝備制造業是爲我國(guó)集成(chéng)電路和半導體器件行業提供工藝裝備的戰略性産業，是提升我國(guó)半導體産業制造能(néng)力的高端裝備制造産業，也是國(guó)家支持的重大技術裝備産業。中國(guó)電子專用設備工業協會常務副秘書長(cháng)金存忠向(xiàng)《中國(guó)電子報》記者表示，目前我國(guó)光伏設備以及LED設備目前已經(jīng)基本上全面(miàn)本土化，集成(chéng)電路設備目前相比較而言依賴于進(jìn)口較多。如今，如何快速發(fā)展本土半導體設備也成(chéng)爲人們關注的焦點。

中國(guó)半導體設備産業繼續保持快速增長(cháng)

半導體設備主要包括集成(chéng)電路設備、光伏設備、LED設備和分立器件設備。近年來，中國(guó)半導體設備産業發(fā)展迅速，市場規模逐步擴大。據金存忠介紹，在2019年，中國(guó)半導體設備繼續保持快速增長(cháng)，根據中國(guó)電子專用設備工業協會對(duì)國(guó)内47家規模以上（半導體設備年銷售收入500萬元以上）半導體設備制造商2019年完成(chéng)的主要經(jīng)濟指标統計顯示：半導體設備銷售收入完成(chéng)161.82億元，同比增長(cháng)30％；半導體設備出口交貨值完成(chéng)16.35億元，同比增長(cháng)2.6%；半導體設備制造商實現總利潤（含所有産品）27.13億元，同比增長(cháng)26.7%。此外，2016年—2019年中國(guó)半導體設備制造商銷售收入年均增長(cháng)41.3％，實現總利潤年均增長(cháng)23.5％，出口交貨值年均增長(cháng)27.8％。

此外，目前我國(guó)集成(chéng)電路和光伏設備訂單增長(cháng)較快，在2019年訂單基本處于飽和狀态的基礎上，今年上半年依然保持良好(hǎo)。同時，SEMI數據顯示，2019年中國(guó)大陸半導體設備市場規模達到134.5億美元，占比全球半導體設備市場的22.5%，位居全球第二。此外，在2019年整個半導體産業萎縮、全球半導體設備銷售額下降7%的大背景下，中國(guó)半導體設備市場需求仍然保持3%的增長(cháng)。可見中國(guó)半導體設備市場規模之龐大。

高端設備産業發(fā)展面(miàn)臨三大問題

與此同時，由于集成(chéng)電路設備産業具備極高的門檻和壁壘，國(guó)産集成(chéng)電路設備依然面(miàn)臨着種(zhǒng)種(zhǒng)挑戰。金存忠介紹，目前中國(guó)集成(chéng)電路設備産業主要面(miàn)臨着三大問題。首先，目前國(guó)産集成(chéng)電路設備市場占有率較低。2019年中國(guó)集成(chéng)電路設備在中國(guó)大陸市場占有率僅爲10%左右。

其次，中國(guó)集成(chéng)電路晶圓生産關鍵設備（如光刻機）仍需依賴于進(jìn)口，14nm制程國(guó)産集成(chéng)電路晶圓生産設備2019年剛剛進(jìn)入産線量産，落後(hòu)2019年國(guó)際先進(jìn)的5納米量産生産線設備二代以上。此外，一些已進(jìn)入晶圓量産生産線的國(guó)産設備中，有些設備與國(guó)際同類設備相比依然存在差距。

最後(hòu)，目前國(guó)産半導體設備關鍵部件本地化進(jìn)程緩慢，進(jìn)口依賴度較大，集成(chéng)電路晶圓生産設備關鍵部件進(jìn)口額占設備銷售額的30%～40%。例如，幹泵、分子泵、機械手（潔淨、真空）、高溫加熱裝置（溫控器）、射頻電源、真空閥門等。

産業處于較好(hǎo)市場環境 廠商將(jiāng)提速擴産

然而，随着我國(guó)半導體産業制造能(néng)力的提升，在一些問題逐漸迎刃而解的同時也迎來很多新的發(fā)展機遇。金存忠認爲，2019年國(guó)産集成(chéng)電路晶圓生産線設備産業化發(fā)展迅速，集成(chéng)電路晶圓生産線主要核心工藝設備已達到14納米量産水平，并且，中微半導體設備（上海）有限公司研制的5納米等離子體刻蝕機也通過(guò)了生産線的驗證。據預計，2020年國(guó)産集成(chéng)電路設備銷售收入將(jiāng)增長(cháng)50%左右。

其次，平價上網的到來給太陽能(néng)電池設備也帶了很多新的發(fā)展機遇。2019年是太陽能(néng)發(fā)電平價上網的元年，先進(jìn)的PRCE晶矽太陽能(néng)電池片生産線設備受到市場的追捧成(chéng)爲光伏企業擴産的首選，全自動、智能(néng)化、大産能(néng)單晶矽生長(cháng)和切片設備銷售也得到快速增長(cháng)。2019年國(guó)産太陽能(néng)電池片生産設備銷售收入將(jiāng)繼續保持增長(cháng)态勢，同比增長(cháng)40%。

最後(hòu)，金存忠預測，盡管受疫情影響，2020年第一季度半導體設備銷售情況一般，但是集成(chéng)電路設備和太陽能(néng)電池片制造設備市場增長(cháng)趨勢沒(méi)有改變，預計2020年中國(guó)主要半導體設備制造商銷售收入將(jiāng)達200億元左右，同比增長(cháng)20%左右。此外，金存忠認爲，2020年國(guó)内集成(chéng)電路設備行業將(jiāng)處于較好(hǎo)的市場環境，中國(guó)大陸本土集成(chéng)電路晶圓廠將(jiāng)擴産提速，國(guó)産裝備將(jiāng)在2020年進(jìn)入較快發(fā)展時期。預計2020年集成(chéng)電路生産設備將(jiāng)增長(cháng)30%左右，銷售收入將(jiāng)超過(guò)太陽能(néng)電池片生産設備，達到90億元以上。

6月16日，萬業企業對(duì)上交所就2019年年度報告問詢函進(jìn)行了回複，進(jìn)一步說明公司向(xiàng)集成(chéng)電路領域轉型的實施情況及産品進(jìn)展等内容。

公告顯示，爲提高離子注入機設備的市場競争力，凱世通本期開(kāi)發(fā)的新一代iPV6000光伏離子注入機首台設備已在公司組裝并完成(chéng)初步調試（即産品下線），目前已進(jìn)入驗證階段，在客戶工藝産線上進(jìn)行調試，待設備在客戶生産端環境下滿足客戶産能(néng)和質量等多項指标後(hòu)，方可完成(chéng)驗證。

關于集成(chéng)電路離子注入機業務，萬業企業表示，公司收購凱世通後(hòu)，對(duì)集成(chéng)電路離子注入機的産品定位提出更高要求。凱世通在集成(chéng)電路領域積極開(kāi)拓其他業務合作夥伴，後(hòu)續成(chéng)功拓展了台灣主要前道(dào)設備供應商，并取得離子注入平台業務訂單，國(guó)内重要的12英寸晶圓芯片制造廠也啓動了對(duì)凱世通集成(chéng)電路離子注入設備的認證程序。

針對(duì)目前集成(chéng)電路離子注入機業務的在手訂單情況，萬業企業回複稱，鑒于目前的國(guó)内和國(guó)際形勢，國(guó)産化需求相當迫切，國(guó)内集成(chéng)電路制造廠正在盡可能(néng)采購國(guó)内設備，凱世通的集成(chéng)電路低能(néng)大束流離子注入機國(guó)内市場需求未來會較大。目前國(guó)内一家重要的12英寸晶圓芯片制造廠與一家存儲器芯片設計制造廠正在評估凱世通集成(chéng)電路設備。

凱世通在集成(chéng)電路離子注入機業務的在手訂單有：2018年與韓國(guó)客戶簽署的一台設備訂單，與一家國(guó)内存儲芯片公司簽訂一台設備訂單。現有的在手訂單毛利率有限，但諸多潛在交易對(duì)手方都(dōu)在等待凱世通β機的驗證結果，一旦驗證結果符合要求，將(jiāng)填補國(guó)内技術空白，建立較高技術壁壘，對(duì)國(guó)内集成(chéng)電路産業而言，從國(guó)産化率和市場規模等方向(xiàng)判斷，凱世通未來具有較好(hǎo)的成(chéng)長(cháng)性。

萬業企業表示，凱世通已明确其發(fā)展重心爲集成(chéng)電路離子注入機，“Finfet集成(chéng)電路離子注入機項目”的研發(fā)成(chéng)果是公司未來集成(chéng)電路離子注入機産業化的基礎，完成(chéng)上述研發(fā)項目能(néng)夠爲公司帶來經(jīng)濟利益。萬業企業表示，目前，凱世通Finfet集成(chéng)電路離子注入機項目所形成(chéng)的離子注入機已順利進(jìn)入離子注入晶圓驗證階段。

近期，光刻機的相關消息鋪天蓋地，在國(guó)際貿易摩擦反複無常的環境背景下，業界對(duì)于仍處處受制于他國(guó)的光刻機設備格外關注。

據了解，光刻機是通過(guò)光學(xué)系統將(jiāng)光掩模版上設計好(hǎo)的集成(chéng)電路圖形印制到矽襯底的感光材料上，實現圖形轉移，根據應用工序不同，光刻機可以用于集成(chéng)電路的制造環節和封裝環節，其中用于封裝環節的光刻機在技術門檻上低于用于制造環節的光刻機。

在制造環節中，光刻工藝流程決定了芯片的工藝精度及性能(néng)水平，對(duì)光刻機的技術要求十分苛刻，因此光刻機也是集成(chéng)電路制造中技術門檻最高、價格最昂貴的核心設備，被譽爲集成(chéng)電路産業皇冠上的明珠。

01

美日荷光刻機競逐賽

在過(guò)去數十年間，光刻機不斷發(fā)展演進(jìn)同時推動了集成(chéng)電路制造工藝不斷發(fā)展演進(jìn)，集成(chéng)電路的飛速發(fā)展，光刻技術起(qǐ)到了極爲關鍵的作用，兩(liǎng)者相輔相成(chéng)，因而自1947年貝爾實驗室發(fā)明點觸式晶體管，光刻機技術亦已具備發(fā)展土壤。

光刻機最初從美國(guó)發(fā)展起(qǐ)來。1959年，仙童半導體研制出全球首台“步進(jìn)重複”相機，使用光刻技術在單個晶圓片上制造了許多相同的矽晶體管。20世紀60年代末，日本企業尼康和佳能(néng)開(kāi)始進(jìn)入光刻機領域并逐步崛起(qǐ)，但70年代主要是美國(guó)公司的競逐賽。

70年代初，美國(guó)Kasper公司推出接觸式光刻設備；1973年，Perkin Elmer公司推出了投影式光刻系統并迅速占領市場，在一段時間裡(lǐ)處于主導地位；1978年，GCA公司推出了真正現代意義的自動化步進(jìn)式光刻機（Stepper），但産量效率相對(duì)較低。

80年代日本企業開(kāi)始發(fā)力，尼康推出首台商用Stepper NSR-1010G，随後(hòu)尼康一度占據光刻機過(guò)半市場份額，佳能(néng)亦在市場上占有一席之地。值得一提的是，1984年4月，飛利浦與荷蘭公司ASMI正式合資成(chéng)立ASML，ASML脫胎于飛利浦光刻設備研發(fā)小組，該小組于1973年已推出其新型光刻設備。

80年代末到90年代，美國(guó)初代光刻機公司走向(xiàng)衰落，GCA被收購後(hòu)關閉、Perkin Elmer光刻部也被出售，日企尼康處于市場主導地位。同時，ASML亦在逐步發(fā)展，1991年推出了PAS 5000光刻機；1995年，ASML在阿姆斯特丹和納斯達克交易所上市。

進(jìn)入21世紀，ASML強勢崛起(qǐ)。2000年，ASML推出其首台Twinscan系統光刻機；随後(hòu)，ASML相繼發(fā)布首台量産浸入式設備TWINSCAN XT:1700i、首台193nm浸入式設備TWINSCAN XT:1900i，一舉力壓尼康、佳能(néng)成(chéng)爲全球光刻機市場新霸主。

如今，ASML已成(chéng)爲全球光刻機領域的絕對(duì)龍頭企業，壟斷高端EUV（極紫外）光刻機市場，是全球唯一一家可提供EUV光刻機的企業。

02

國(guó)産光刻機攻關曆程

在歐美日光刻機市場風雲變幻的數十年間，我國(guó)也在通過(guò)各種(zhǒng)努力研制國(guó)産光刻機設備。據了解，20世紀70年代我國(guó)就開(kāi)始有清華大學(xué)精密儀器系、中科院光電技術研究所、中電科四十五所等機構投入光刻機設備研制。

除了上述提及的高校/科研單位，國(guó)内從事(shì)光刻機及相關研究生産的企業/單位還(hái)有上海微電子裝備、中科院長(cháng)春光機所、合肥芯碩半導體、江蘇影速集成(chéng)電路裝備，以及光刻機雙工件台系統企業北京華卓精科等。

2001年，國(guó)務院正式批準在“十五”期間繼續實施國(guó)家高技術研究發(fā)展計劃（863計劃），國(guó)家科技部和上海市于2002年共同推動成(chéng)立上海微電子裝備公司，承擔國(guó)家“863計劃”項目研發(fā)100nm高端光刻機。據悉，中電科四十五所當時將(jiāng)其從事(shì)分步投影光刻機團隊整體遷至上海參與其中。

2006年，國(guó)務院發(fā)布《國(guó)家中長(cháng)期科學(xué)和技術發(fā)展規劃綱要（2006-2020年）》确定發(fā)展16個重大專項，其中包括“極大規模集成(chéng)電路制造裝備及成(chéng)套工藝”國(guó)家科技重大專項（02專項）。2008年，國(guó)務院批準實施02專項，200多家企事(shì)業單位和2萬多名科研人員參與攻關，其中EUV光刻技術列被爲“32-22nm裝備技術前瞻性研究”重要攻關任務。

當時，中科院長(cháng)春光機所作爲牽頭單位，聯合中科院光電技術研究所、中科院上海光學(xué)精密機械研究所、中科院微電子研究所、北京理工大學(xué)、哈爾濱工業大學(xué)、華中科技大學(xué)，承擔“極紫外光刻關鍵技術研究”項目研究工作。

随後(hòu)，清華大學(xué)牽頭，聯合華中科技大學(xué)、上海微電子裝備和成(chéng)都(dōu)工具所承擔02專項“光刻機雙工件台系統樣機研發(fā)”，以研制光刻機雙工件台系統樣機爲目标，力争爲研發(fā)65-28nm雙工件台幹式及浸沒(méi)式光刻機提供具有自主知識産權的産品級技術。

可見，在國(guó)産光刻機研發(fā)曆程上，國(guó)家在政策上予以支持，并動員了高校、科研機構、企業等科技力量共同進(jìn)行技術攻關。

03

階段性突破與差距

曆經(jīng)多年努力過(guò)，那麼(me)國(guó)産光刻機研發(fā)方面(miàn)有何成(chéng)果？與國(guó)際先進(jìn)水平還(hái)有多大差距？

2016年4月，清華大學(xué)牽頭的02專項“光刻機雙工件台系統樣機研發(fā)”項目成(chéng)功通過(guò)驗收，标志中國(guó)在雙工件台系統上取得技術突破。

2017年6月，中科院長(cháng)春光機所牽頭的02專項“極紫外光刻關鍵技術研究”項目通過(guò)驗收，該項目成(chéng)功研制了波像差優于0.75 nm RMS的兩(liǎng)鏡EUV光刻物鏡系統，構建了EUV光刻曝光裝置，國(guó)内首次獲得EUV投影光刻32 nm線寬的光刻膠曝光圖形。

2018年11月，中科院光電技術研究所承擔的“超分辨光刻裝備研制”項目通過(guò)驗收，該裝備在365nm光源波長(cháng)下，單次曝光最高線寬分辨力達到22nm，項目在原理上突破分辨力衍射極限，建立了一條高分辨、大面(miàn)積的納米光刻裝備研發(fā)新路線……

然而，盡管多個光刻機項目取得成(chéng)果并通過(guò)驗收，這(zhè)些技術在助力國(guó)産光刻機發(fā)展突破上也起(qǐ)到重要作用，但真正實現量産并應用于生産線上卻又是另一回事(shì)，如上述超分辨光刻裝備要想應用于芯片生産還(hái)需要攻克一系列技術難關，距離國(guó)際先進(jìn)水平還(hái)相當遙遠。目前，上海微電子裝備的90nm光刻機仍代表着國(guó)産光刻機最高水平。

據了解，随着光源的改進(jìn)和工藝的創新，光刻機已經(jīng)曆了五代産品的更新替代。第一代爲光源g-Line，波長(cháng)436nm，最小工藝節點0.8-0.25微米；第二代爲光源i-Line、波長(cháng)365nm，最小工藝節點0.8-0.25微米；第三代爲光源KrF、波長(cháng)248nm，最小工藝節點180-130nm；第四代爲光源ArF、波長(cháng)193nm，最小工藝節點45-22nm；第五代爲光源EUV、波長(cháng)13.5nm，最小工藝節點22-7nm。

第五代EUV光刻機是目前全球光刻機最先進(jìn)水平，ASML是唯一一家可量産EUV光刻機的廠商。财報資料顯示，2019年ASML出售了26台EUV光刻機，主要用于台積電、三星的7nm及今年開(kāi)始量産的5nm工藝。近期媒體報道(dào)稱，目前ASML正在研發(fā)新一代EUV光刻機，主要面(miàn)向(xiàng)3nm制程，最快將(jiāng)于2021年問世。

日本企業尼康方面(miàn)，官網顯示其最新的光刻機産品爲ArF液浸式掃描光刻機NSR-S635E，搭載高性能(néng)對(duì)準站inline Alignment Station（iAS），曝光光源ArF excimer laser、波長(cháng)193nm，分辨率≦38nm，官方介紹稱這(zhè)款光刻機“專爲5nm工藝制程量産而開(kāi)發(fā)”。

而上海微電子裝備方面(miàn)，官網顯示其目前量産的光刻機包括200系列光刻機（TFT曝光）、300系列光刻機（LED、MEMS、Power Devices制造）、500系列光刻機（IC後(hòu)道(dào)先進(jìn)封裝）、600系列光刻機（IC前道(dào)制造）。其中，用于IC前道(dào)制造用的600系列光刻機共有3款，性能(néng)最好(hǎo)的是SSA600/20，曝光光源ArF excimer laser、分辨率90nm。

相較于ASML的EUV光刻機，上海微電子裝備的90nm光刻機無疑落後(hòu)了多個世代，與尼康相比亦有所落後(hòu)；再者，目前國(guó)内晶圓代工廠龍頭企業中芯國(guó)際已可量産14nm制程工藝，根據半導體設備要超前半導體産品制造開(kāi)發(fā)新一代産品的規律，90nm光刻機已遠不能(néng)滿足國(guó)内晶圓制造的需求。

不過(guò)值得一提的是，近期有媒體報道(dào)稱，上海微電子裝備披露將(jiāng)于年底量産28nm的immersion式光刻機，在2021年至2022年交付國(guó)産第一台SSA/800-10W光刻機設備。雖然業界對(duì)此消息頗有争議，但若該消息屬實，那對(duì)于國(guó)産光刻機而言不得不說是一重大突破。

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迎來發(fā)展好(hǎo)時代？

由于技術嚴重落後(hòu)于國(guó)際先進(jìn)水平，國(guó)内光刻機市場長(cháng)期被ASML、尼康、佳能(néng)等企業所占據，但随着國(guó)内集成(chéng)電路産業加速發(fā)展，國(guó)産光刻機迎來發(fā)展機遇。

近年來，全球半導體産能(néng)向(xiàng)國(guó)内轉移，國(guó)内晶圓生産線不斷擴産或新增，成(chéng)爲全球新建晶圓廠最積極的地區，爲國(guó)産設備提供了巨大的市場空間。根據中國(guó)國(guó)際招标網信息，長(cháng)江存儲、華虹無錫等近年新建晶圓廠招标設備國(guó)産化率已顯著提升，包括北方華創、中微公司、屹唐半導體等企業均有中标。

再者，過(guò)去兩(liǎng)年國(guó)際貿易摩擦态勢反複，美國(guó)對(duì)國(guó)内半導體産業的技術限制愈加嚴格。

在此環境背景下，半導體設備國(guó)産替代迫在眉睫，國(guó)家高度重視和大力支持行業發(fā)展，相繼出台了多項政策，推動中國(guó)半導體産業的發(fā)展和加速國(guó)産化進(jìn)程，國(guó)産光刻機的發(fā)展情況更是受到了業界重點關注。國(guó)家的重視與支持以及産業與市場的迫切需求，將(jiāng)有望促使國(guó)産光刻機加快發(fā)展步伐。

還(hái)有一個較好(hǎo)的發(fā)展勢頭是在資金方面(miàn)。半導體設備投資周期長(cháng)、研發(fā)投入大，是典型的資本密集型行業，尤其是光刻機領域。此前，國(guó)内半導體設備企業的主要資金來源于股東投入與政府支持，融資渠道(dào)單一，近年來國(guó)家大基金、地方性投資基金及民間資本以市場化的投資方式進(jìn)入半導體産業，豐富了半導體設備企業的資金來源，不少企業也正在尋求上市。

目前，北方華創、晶盛機電、長(cháng)川科技等企業早已登陸資本市場，中微公司、華峰測控、芯源微等半導體設備企業亦集中在去年以及今年于科創闆上市。光刻機企業方面(miàn)，上海微電子裝備于2017年12月已進(jìn)行輔導備案，光刻機雙工件台企業華卓精科亦拟闖關科創闆，近日江蘇影速亦宣布已進(jìn)入上市輔導階段。

此外，随着市場資本進(jìn)入半導體設備領域，近兩(liǎng)年來亦新增了一些光刻機相關項目。如今年6月5日，上海博康光刻設備及光刻材料項目簽約落戶西安高陵，據西安晚報報道(dào)，該項目總占地200畝，總投資13億元；今年4月，埃眸科技納米光刻機項目落戶常熟高新區，計劃總投資10億元，主要方向(xiàng)爲納米壓印光刻機的研發(fā)、生産、銷售及運營。

有人說，對(duì)于半導體設備産業而言，這(zhè)是最好(hǎo)的時代、也是最壞的時代。面(miàn)對(duì)與國(guó)際先進(jìn)水平的差距以及技術封鎖，國(guó)産光刻機仍有很長(cháng)的路要走。除去外部因素，自身人才匮乏、技術欠缺亦是發(fā)展難題，光刻機研制出來後(hòu)産線驗證難更是制約國(guó)産光刻機進(jìn)入生産線的主要瓶頸之一，種(zhǒng)種(zhǒng)問題亟待解決。

不過(guò)，國(guó)内越來越多的新增晶圓生産線走向(xiàng)穩定，將(jiāng)有望給予國(guó)産光刻機等更多“試錯”機會。對(duì)于國(guó)産光刻機，我們需要承認差距，亦要寄予希望，上海微電子裝備等已燃起(qǐ)了星星之火，我們期待其早日燎原。

 

據上交所發(fā)布消息，6月8日，深圳市燕麥科技股份有限公司（以下簡稱“燕麥科技”）成(chéng)功登陸科創闆。報道(dào)指出，燕麥科技本次公開(kāi)發(fā)行股票3587萬股，發(fā)行價格19.68元/股，新股募集資金總額7.06億元，發(fā)行後(hòu)總股本14347.87萬股。

資料顯示，資料顯示，燕麥科技是一家專注于自動化、智能(néng)化測試設備的研發(fā)、設計、生産和銷售的高新技術企業，爲客戶自動化、智能(néng)化生産提供系統解決方案。其測試設備目前主要應用于柔性線路闆測試領域，客戶覆蓋全球前十大FPC企業中的前七家，并已經(jīng)發(fā)展成(chéng)爲全球消費電子領先品牌蘋果、谷歌等公司的供應商，已成(chéng)爲FPC行業頭部企業的核心供應商。

近年來，燕麥科技營收及淨利潤均實現穩定增長(cháng)。招股書顯示，燕麥科技2017年、2018年、2019年營收分别爲2.42億元、2.44億元、2.7億元；研發(fā)投入占營收比分别爲14.76%、16.91%、16.13%。

報告期内，燕麥科技銷售的最終用于檢測蘋果公司産品FPC的測試設備收入占營業收入的占比分别爲85.73%、89.74%、89.79%、79.02%。其中，燕麥科技直接來源于蘋果公司及其指定的采購訂單所對(duì)應的銷售收入占其各期營業收入的比例分别爲45.90%、49.72%、41.31%、27.91%。

燕麥科技表示，目前及短期内，收入仍將(jiāng)主要集中于以蘋果公司爲主的消費電子領域。

日前，中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微公司”）發(fā)布公告，公司拟向(xiàng)上海芯元基半導體科技有限公司（以下簡稱“芯元基”）轉讓其所持有上海創徒光電技術服務有限公司（以下簡稱“創徒光電”）全部股權并拟對(duì)芯元基增資。

公告顯示，芯元基拟以570萬元現金收購中微公司所持創徒光電全部股權，并以現金收購上海創徒科技創業服務有限公司所持創徒光電全部股權。後(hòu)續，芯元基拟以投前整體估值1.18億元爲基礎，新增注冊資本37.47萬元，其中：中微公司投資570萬元認購芯元基新增注冊資本中的24.55萬元；湖州創徒創業投資合夥企業（有限合夥）投資300萬元認購芯元基新增注冊資本中的12.92萬元。

上述交易完成(chéng)後(hòu)，創徒光電變爲芯元基的全資子公司，中微公司不再直接持有創徒光電的股權；芯元基注冊資本增加至545.65萬元，中微公司持股比例由8.4746%增加至12.3915%。

資料顯示，芯元基基成(chéng)立于2014年10月，注冊資本508.1867萬元。據了解，芯元基主要從事(shì)以GaN爲主的第三代半導體材料和器件開(kāi)發(fā)，擁有LED芯片DPSS複合襯底、藍寶石襯底化學(xué)剝離和WLP晶圓級封裝等系列LED芯片創新技術。

今年3月，張江頭條消息顯示，芯元基在氮化镓材料領域取得重大創新突破，基于其獨創的DPSS襯底技術（藍寶石複合圖形襯底），開(kāi)發(fā)出了低位錯密度的高阻GaN（氮化镓）材料，可用于電子功率器件和微波射頻器件等的制備。

因芯元基系本公司董事(shì)杜志遊（ZHIYOU DU）擔任董事(shì)的企業，故中微公司向(xiàng)芯元基轉讓創徒光電的股權以及中微公司對(duì)芯元基增資事(shì)項構成(chéng)關聯交易，但未構成(chéng)重大資産重組。

公告表示，本次股權轉讓及對(duì)外投資，系公司爲完善業務布局而進(jìn)行，該事(shì)項的發(fā)生有其必要性和合理性，符合公司經(jīng)營發(fā)展的需要，不會對(duì)公司财務和經(jīng)營産生不利影響，不存在損害上市公司及全體股東特别是中小股東利益的情形。

近日，西安市高陵區引進(jìn)國(guó)家戰略新興産業、推動高質量發(fā)展取得新突破，6月5日，上海博康項目正式簽約落戶高陵。

據西安晚報報道(dào)，上海博康光刻設備及光刻材料項目總占地200畝，總投資13億元，滿産後(hòu)年産值20億元以上，年貢獻稅收1億元以上。

博康落戶高陵，既填補了全市半導體光刻領域産業的空白，也將(jiāng)吸引電子信息産業聚集，拉伸先進(jìn)制造産業鏈條，爲西安産業動能(néng)轉換和經(jīng)濟結構優化升級做出積極貢獻。

資料顯示，博康集團成(chéng)立于2018年，注冊資本1億元，主要從事(shì)化工科技、生物科技、材料科技、機電科技領域内的技術開(kāi)發(fā)、技術咨詢、技術轉讓、技術服務，光刻材料、半導體新型材料的研發(fā)及銷售，化學(xué)試劑（除醫療、診斷試劑）、化工原料及産品（除危險化學(xué)品、監控化學(xué)品、煙花爆竹、民用爆炸物品、易制毒化學(xué)品）、包裝材料、橡膠制品、塑料制品、機電設備、集成(chéng)電路軟件、實驗室設備的銷售，集成(chéng)電路生産設備研發(fā)、設計、制造及售後(hòu)技術服務等業務。

據悉，爲确保項目順利落地，高陵區將(jiāng)嚴格落實重點項目包抓責任制，成(chéng)立由區委書記、區長(cháng)牽頭的項目服務保障專班，對(duì)項目落地和建設中不重視不積極、工作措施不力、進(jìn)展緩慢甚至遲遲沒(méi)有進(jìn)展的，高陵區委區政府將(jiāng)實行重點督辦和約談問責，确保項目年底前開(kāi)工建設、早日投産達效。