半導體裝備制造業是爲我國(guó)集成(chéng)電路和半導體器件行業提供工藝裝備的戰略性産業，是提升我國(guó)半導體産業制造能(néng)力的高端裝備制造産業，也是國(guó)家支持的重大技術裝備産業。中國(guó)電子專用設備工業協會常務副秘書長(cháng)金存忠向(xiàng)《中國(guó)電子報》記者表示，目前我國(guó)光伏設備以及LED設備目前已經(jīng)基本上全面(miàn)本土化，集成(chéng)電路設備目前相比較而言依賴于進(jìn)口較多。如今，如何快速發(fā)展本土半導體設備也成(chéng)爲人們關注的焦點。
中國(guó)半導體設備産業繼續保持快速增長(cháng)
半導體設備主要包括集成(chéng)電路設備、光伏設備、LED設備和分立器件設備。近年來，中國(guó)半導體設備産業發(fā)展迅速，市場規模逐步擴大。據金存忠介紹，在2019年，中國(guó)半導體設備繼續保持快速增長(cháng)，根據中國(guó)電子專用設備工業協會對(duì)國(guó)内47家規模以上（半導體設備年銷售收入500萬元以上）半導體設備制造商2019年完成(chéng)的主要經(jīng)濟指标統計顯示：半導體設備銷售收入完成(chéng)161.82億元，同比增長(cháng)30％；半導體設備出口交貨值完成(chéng)16.35億元，同比增長(cháng)2.6%；半導體設備制造商實現總利潤（含所有産品）27.13億元，同比增長(cháng)26.7%。此外，2016年—2019年中國(guó)半導體設備制造商銷售收入年均增長(cháng)41.3％，實現總利潤年均增長(cháng)23.5％，出口交貨值年均增長(cháng)27.8％。
此外，目前我國(guó)集成(chéng)電路和光伏設備訂單增長(cháng)較快，在2019年訂單基本處于飽和狀态的基礎上，今年上半年依然保持良好(hǎo)。同時，SEMI數據顯示，2019年中國(guó)大陸半導體設備市場規模達到134.5億美元，占比全球半導體設備市場的22.5%，位居全球第二。此外，在2019年整個半導體産業萎縮、全球半導體設備銷售額下降7%的大背景下，中國(guó)半導體設備市場需求仍然保持3%的增長(cháng)。可見中國(guó)半導體設備市場規模之龐大。
高端設備産業發(fā)展面(miàn)臨三大問題
與此同時，由于集成(chéng)電路設備産業具備極高的門檻和壁壘，國(guó)産集成(chéng)電路設備依然面(miàn)臨着種(zhǒng)種(zhǒng)挑戰。金存忠介紹，目前中國(guó)集成(chéng)電路設備産業主要面(miàn)臨着三大問題。首先，目前國(guó)産集成(chéng)電路設備市場占有率較低。2019年中國(guó)集成(chéng)電路設備在中國(guó)大陸市場占有率僅爲10%左右。
其次，中國(guó)集成(chéng)電路晶圓生産關鍵設備（如光刻機）仍需依賴于進(jìn)口，14nm制程國(guó)産集成(chéng)電路晶圓生産設備2019年剛剛進(jìn)入産線量産，落後(hòu)2019年國(guó)際先進(jìn)的5納米量産生産線設備二代以上。此外，一些已進(jìn)入晶圓量産生産線的國(guó)産設備中，有些設備與國(guó)際同類設備相比依然存在差距。
最後(hòu)，目前國(guó)産半導體設備關鍵部件本地化進(jìn)程緩慢，進(jìn)口依賴度較大，集成(chéng)電路晶圓生産設備關鍵部件進(jìn)口額占設備銷售額的30%～40%。例如，幹泵、分子泵、機械手（潔淨、真空）、高溫加熱裝置（溫控器）、射頻電源、真空閥門等。
産業處于較好(hǎo)市場環境 廠商將(jiāng)提速擴産
然而，随着我國(guó)半導體産業制造能(néng)力的提升，在一些問題逐漸迎刃而解的同時也迎來很多新的發(fā)展機遇。金存忠認爲，2019年國(guó)産集成(chéng)電路晶圓生産線設備産業化發(fā)展迅速，集成(chéng)電路晶圓生産線主要核心工藝設備已達到14納米量産水平，并且，中微半導體設備（上海）有限公司研制的5納米等離子體刻蝕機也通過(guò)了生産線的驗證。據預計，2020年國(guó)産集成(chéng)電路設備銷售收入將(jiāng)增長(cháng)50%左右。
其次，平價上網的到來給太陽能(néng)電池設備也帶了很多新的發(fā)展機遇。2019年是太陽能(néng)發(fā)電平價上網的元年，先進(jìn)的PRCE晶矽太陽能(néng)電池片生産線設備受到市場的追捧成(chéng)爲光伏企業擴産的首選，全自動、智能(néng)化、大産能(néng)單晶矽生長(cháng)和切片設備銷售也得到快速增長(cháng)。2019年國(guó)産太陽能(néng)電池片生産設備銷售收入將(jiāng)繼續保持增長(cháng)态勢，同比增長(cháng)40%。
最後(hòu)，金存忠預測，盡管受疫情影響，2020年第一季度半導體設備銷售情況一般，但是集成(chéng)電路設備和太陽能(néng)電池片制造設備市場增長(cháng)趨勢沒(méi)有改變，預計2020年中國(guó)主要半導體設備制造商銷售收入將(jiāng)達200億元左右，同比增長(cháng)20%左右。此外，金存忠認爲，2020年國(guó)内集成(chéng)電路設備行業將(jiāng)處于較好(hǎo)的市場環境，中國(guó)大陸本土集成(chéng)電路晶圓廠將(jiāng)擴産提速，國(guó)産裝備將(jiāng)在2020年進(jìn)入較快發(fā)展時期。預計2020年集成(chéng)電路生産設備將(jiāng)增長(cháng)30%左右，銷售收入將(jiāng)超過(guò)太陽能(néng)電池片生産設備，達到90億元以上。