5月，全世界著名光刻機生産研發(fā)公司荷蘭阿斯麥（ASML）公司與無錫高新區管委會簽署戰略合作協議，未來阿斯麥公司將(jiāng)在原有基礎上對(duì)資源進(jìn)行整合提升，加速擴建光刻設備技術服務（無錫）基地。
光刻機，又名掩模對(duì)準曝光機，是制造大規模集成(chéng)電路的核心裝備。作爲“芯片之母”，其對(duì)某個國(guó)家或地區的集成(chéng)電路産業具備重要的發(fā)展支撐作用。阿斯麥公司與無錫“握手”，將(jiāng)爲江蘇集成(chéng)電路産業帶來哪些新變化？
“這(zhè)是阿斯麥與無錫第二次‘握手’。”阿斯麥全球副總裁、中國(guó)區總裁沈波說，2006年，阿斯麥公司在無錫布局建立光刻設備技術服務基地，經(jīng)過(guò)多年的“深耕細作”，如今，阿斯麥無錫基地是中國(guó)規模最大的光刻設備技術服務基地，成(chéng)爲華虹、SK海力士等一批重點集成(chéng)電路企業光刻機的供應商。
此次阿斯麥實施（無錫）基地升級擴建，將(jiāng)擁有近200人規模專業團隊的技術中心，從事(shì)光刻設備的維護、升級等技術服務，爲設備安裝，升級及生産運營等所需的物料提供更高水準的物流支持。項目建成(chéng)後(hòu)，將(jiāng)更好(hǎo)地滿足無錫乃至江蘇集成(chéng)電路産業的發(fā)展需求。
目前，我國(guó)集成(chéng)電路産業正處于一個非常時期。“阿斯麥光刻設備技術服務的引入與此時擴建，有着非同一般的重要意義。”有專家表示，無錫是最早布局的集成(chéng)電路産業基地之一，近年來，在國(guó)家和地方政策的重點支持下，無錫先後(hòu)引入華虹基地、海力士二工廠等一批重大産業項目。去年，無錫集成(chéng)電路産業産值達到1178億元，增長(cháng)8.3%，位居全省第一、全國(guó)第二。專家坦言，江蘇集成(chéng)電路産業在國(guó)内起(qǐ)步早，并形成(chéng)了一定的産業規模，但在集成(chéng)電路産業的上遊，無論是光刻設備，還(hái)是集成(chéng)電路設計和高端電子化學(xué)品方面(miàn)，仍是一條“短腿”，亟待補齊産業鏈，提升産業自主創新力和國(guó)際競争力。
“阿斯麥公司與無錫再度‘牽手’，标志着我省集成(chéng)電路産業有深厚的産業基礎。”江蘇省半導體行業協會相關人士透露，目前，我省集成(chéng)電路産業已邁入加速階段，正“奮勇向(xiàng)前”；去年8月，鎮江首台光刻機開(kāi)始服役制造芯片；今年5月20日，鹽城總投872.7億元項目簽約，涵蓋台灣半導體光刻機、集成(chéng)電路；6月1日，江陰集成(chéng)電路設計創新中心揭幕。
據介紹，阿斯麥公司無錫技術服務基地還(hái)將(jiāng)服務江蘇乃至整個長(cháng)三角地區。目前江蘇先進(jìn)制程（28nm及以下）半導體工廠有南京台積電工廠、無錫SK海力士DRAM工廠等。其中，華虹半導體無錫基地12英寸生産線實現了高性能(néng)90nm FSI工藝平台産品投片。