6月18日，從電科裝備旗下爍科中科信公司傳來喜訊，公司研發(fā)的12英寸中束流離子注入機順利發(fā)往某集成(chéng)電路大産線，這(zhè)台由客戶直接采購的設備如期交付，标志着公司國(guó)産離子注入機市場化進(jìn)程再上新台階。
據介紹，離子注入機是將(jiāng)特定種(zhǒng)類離子以指定參數注入至特定材料中的一種(zhǒng)設備，執行的是核心的摻雜工藝。半導體要做成(chéng)器件，要改變電性能(néng)，必須摻入雜質，離子注入機就是執行摻雜工藝的标準設備。“每一個器件生産過(guò)程中，需要進(jìn)行很多次離子注入，注入到器件不同的位置，注入的次數對(duì)于不同器件類型和工藝節點有差異，例如對(duì)于28nm邏輯器件，注入次數約爲40次。”爍科中科信公司技術總監張叢介紹說。
目前，國(guó)内集成(chéng)電路離子注入設備市場幾乎被國(guó)外壟斷，國(guó)産設備市場份額小，爍科中科信是我國(guó)目前唯一的一家全系列集成(chéng)電路離子注入機集研發(fā)、制造、服務于一體的供應商。在研發(fā)過(guò)程中，研發(fā)團隊攻克了光路、晶圓傳輸、劑量控制、通用軟件系統等離子注入機共性關鍵技術。中束流離子注入機突破了高精度束流角度控制、小發(fā)射度長(cháng)壽命離子源等關鍵技術，大束流離子注入機則進(jìn)一步突破了低能(néng)大流強束流傳輸與控制、支持十餘種(zhǒng)離子的大流強長(cháng)壽命離子源等關鍵技術，高能(néng)離子注入機在高能(néng)（MeV）離子加速、高電荷态離子源等關鍵技術上實現了突破。
追平主流隻是開(kāi)始，成(chéng)體系實現國(guó)産替代才是目标。“爍科中科信公司已形成(chéng)全系列離子注入機産品體系，建立了符合SEMI标準要求的離子注入機産業化平台，年産能(néng)達30台，公司的産品廣泛應用于全球知名芯片制造企業，并獲客戶高度認可。”張叢說，公司自主研制的離子注入機系列産品還(hái)斬獲了北京市科學(xué)技術進(jìn)步一等獎等多項榮譽，在客戶産線上累計跑片650萬片，穩定支撐了客戶量産。除此之外，還(hái)建立了一支專業化的售後(hòu)服務團隊，實行7×24小時響應機制，持續提升客戶體驗，加速國(guó)産化進(jìn)程。
公司負責人說，將(jiāng)進(jìn)一步圍繞攻克核心關鍵技術持續發(fā)力，推進(jìn)中束流和大束流離子注入機産業化，同時，緊跟先進(jìn)工藝發(fā)展，開(kāi)展适用于更先進(jìn)工藝節點的離子注入機的研發(fā)工作，并不斷拓展離子注入機在新興領域的應用。