在清潔無塵的車間裡(lǐ)，一枚枚形狀酷似黑膠唱片的矽片在工藝線上有序流轉，經(jīng)曆倒角、研磨、腐蝕、熱處理、抛光……昨天（6月30日）下午，杭州中芯晶圓半導體股份有限公司的首批8英寸（200mm）半導體矽抛光片順利下線。
這(zhè)是出自杭州制造的第一批大矽片，意味着杭州半導體産業在制造領域往前邁出了一大步。據悉，中芯晶圓的12英寸矽片也將(jiāng)于今年12月下線，未來量産後(hòu)企業可實現8英寸半導體矽片年産420萬枚、12英寸半導體矽片年産240萬枚。
大矽片項目僅用16個月完成(chéng)下線
量産後(hòu)可實現年産值近40億元
在業内，芯片被比喻爲一座微型城市，上面(miàn)有着長(cháng)度達數公裡(lǐ)的導線以及幾千萬甚至上億根晶體管。而矽片，就是讓這(zhè)些元件“安家落戶”的“地基”。
矽片制造對(duì)制程技術、環境設備的要求很嚴，且矽片越大要求越嚴。目前國(guó)内半導體矽片大多隻能(néng)達到4至6英寸矽片的性能(néng)需要，少量能(néng)供應8英寸市場，但在12英寸矽片領域幾乎是空白。另一面(miàn)則是，大矽片在新興産業領域有極大應用。比如，8英寸矽片被多用于傳感、安防領域以及電動汽車、高鐵等功率器件。12英寸矽片的應用主要是邏輯芯片和記憶芯片，用于無人駕駛等領域。
由日本Ferrotec株式會社、杭州大和熱磁電子有限公司及上海申和電子有限公司共同投資成(chéng)立的中芯晶圓，是我國(guó)半導體大尺寸矽片生産的“标杆工廠”。2017年9月28日，中芯晶圓落戶錢塘新區，首個項目包括3條8英寸（200mm）、兩(liǎng)條12英寸（300mm）半導體矽片生産線。
随着6月30日第一批大矽片的産出，該項目進(jìn)入送樣試産階段，預計今年10月就能(néng)實現8英寸矽片的量産。同時，12英寸矽片也將(jiāng)在今年12月完成(chéng)下線、送樣認證，于明年實現量産。
“從去年2月打下第一根樁到現在産品下線，我們總共用了16個月。”Ferrotec中國(guó)董事(shì)局主席、CEO賀賢漢表示，中芯晶圓之所以能(néng)創造大矽片項目的“杭州速度”，與省、市以及錢塘新區各級各部門的全力支持和“管家式”服務密不可分。
據悉，整個項目達産後(hòu)將(jiāng)成(chéng)爲國(guó)内規模最大、技術最成(chéng)熟的大尺寸半導體矽片生産基地，實現8英寸半導體矽片年産420萬枚、12英寸半導體矽片年産240萬枚，年産值近40億元。
集成(chéng)電路産業動能(néng)強勁
芯片設計領域步入全國(guó)第一方陣
作爲數字經(jīng)濟的核心産業，集成(chéng)電路是杭州打造“數字經(jīng)濟第一城”過(guò)程中重點培育的産業。經(jīng)過(guò)多年發(fā)展，杭州集成(chéng)電路産業已經(jīng)涵蓋設計、制造、封測、材料和裝備全産業鏈領域。目前，全市擁有集成(chéng)電路企業122家，其中規上企業87家。
值得一提的是，杭州在芯片設計領域具有比較優勢。數據顯示，去年全市設計領域的企業數量和業務收入分别占全省80%、90%以上。2018年，全市集成(chéng)電路規上企業主營業務收入190.53億元，同比增長(cháng)6.2%。其中設計業實現銷售收入118.34億元，設計規模僅次深圳、北京、上海，位列全國(guó)第四。
“杭州在芯片設計領域優勢明顯，但我們在制造領域基礎相對(duì)薄弱。這(zhè)次中芯晶圓大矽片項目的落地，不僅填補了杭州在矽片制造方面(miàn)的空白，也會對(duì)整個産業鏈發(fā)展起(qǐ)到推動作用。”杭州市經(jīng)信局副局長(cháng)楊曉勇說，杭州正在集成(chéng)電路全産業鏈上“做文章”，未來會通過(guò)項目引進(jìn)和本地培育等方式，重點在模拟芯片制造、化合物半導體制造、存儲類芯片制造等領域進(jìn)行布局。
事(shì)實上，杭州集成(chéng)電路産業近年來發(fā)展動能(néng)強勁，一個很重要原因是産業政策的支撐。早在去年7月，杭州就出台集成(chéng)電路産業的首個專項政策——《進(jìn)一步鼓勵集成(chéng)電路産業加快發(fā)展專項政策》，重點支持企業創新研發(fā)、IP設計、掩膜流片、投資技改和首用推廣。
據悉，該政策發(fā)布以來已經(jīng)支持29個集成(chéng)電路産業發(fā)展項目，爲企業和産業發(fā)展起(qǐ)到了良好(hǎo)的助推作用。
