近日,江蘇南大光電材料股份有限公司(以下簡稱“南大光電”)在股票交易異常波動的公告中披露了其光刻膠項目最新進(jìn)展。
公告顯示,南大光電承接的國(guó)家“02專項”之“ArF光刻膠産品的開(kāi)發(fā)和産業化項目”的基礎建設按計劃進(jìn)行;2019年底完成(chéng)一條生産線的安裝,正在調試階段。2020年4月,公司采購的用于檢測ArF(193nm)光刻膠産品性能(néng)的光刻機運入甯波南大光電工廠,5月開(kāi)始進(jìn)行安裝調試,預計安裝調試需要4-5個月的時間。公司制備ArF(193nm)光刻膠用的高純原材料來源于自主研發(fā),研制出的ArF(193nm)光刻膠樣品正在供客戶測試。
目前“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和産業化項目”正處于光刻膠樣品驗證階段,驗證過(guò)程預計需要12-18個月,甚至更長(cháng)的時間。南大光電還(hái)指出,ArF(193nm)光刻膠産品開(kāi)發(fā)技術突破難度大、工藝要求高,且實現穩定量産周期較長(cháng),後(hòu)續是否能(néng)取得下遊客戶的訂單,能(néng)否大規模進(jìn)入市場仍存在較多的不确定性。
據了解,南大光電ArF光刻膠産品的開(kāi)發(fā)和産業化項目總投資額爲6.56億元,其中,國(guó)撥資金1.93億元,地方配套資金1.97億元,項目實施主體爲南大光電全資子公司甯波南大光電。
2019年12月14日,南大光電再次發(fā)布公告稱,通過(guò)增資擴股的方式甯波南大光電進(jìn)行增資2.6億元,增資事(shì)項完成(chéng)後(hòu),甯波南大光電的注冊資本由4000萬元增加到3億元。對(duì)于甯波南大光電增資擴股并引入外部投資者,南大光電稱,有利于加快公司ArF光刻膠産品的開(kāi)發(fā)與産業化項目的建設進(jìn)度,推動光刻膠闆塊的戰略布局。
根據最初規劃,ArF光刻膠産品的開(kāi)發(fā)和産業化項目拟通過(guò)3年的建設、投産及實現銷售,達到年産25噸193nm(ArF幹式和浸沒(méi)式)光刻膠産品的生産規模,産品滿足集成(chéng)電路行業需求标準。同時建成(chéng)先進(jìn)光刻膠分析測試中心和高分辨率光刻膠研發(fā)中心。