近日,南大光電在互動平台透露,甯波南大光電目前已安裝完成(chéng)第一條ArF(193nm)光刻膠生産線,該産線仍處于調試階段。目前,研發(fā)的産品正在測試、認證過(guò)程中,尚未形成(chéng)量産和銷售。

2019年7月,南大光電在互動平台透露,公司設立光刻膠事(shì)業部,并成(chéng)立了全資子公司“甯波南大光電材料有限公司”,全力推進(jìn)“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和産業化項目”落地實施。

2019年10月,南大光電公告稱,公司與甯波經(jīng)濟技術開(kāi)發(fā)區管理委員會簽署了《投資協議書》,拟在甯波經(jīng)濟技術開(kāi)發(fā)區投資開(kāi)發(fā)高端集成(chéng)電路制造用各種(zhǒng)先進(jìn)光刻膠材料以及配套原材料和底部抗反射層等高純配套材料,形成(chéng)規模化生産能(néng)力,建立配套完整的國(guó)産光刻膠産業鏈。該項目計劃總投資6億元,預計總用地50畝。項目完全達産後(hòu),預計實現約10億元的年銷售額,年利稅預計約2億元。

資資料顯示,南大光電主要從事(shì)高純電子材料研發(fā)、生産和銷售,通過(guò)承擔國(guó)家重大技術攻關項目并實現産業化。目前,公司形成(chéng)MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅體材料等業務闆塊。值得注意的是,2017年,南大光電還(hái)承擔了集成(chéng)電路芯片制造用關鍵核心材料之一的“193nm光刻膠材料的研發(fā)與産業化項目”(以下簡稱193nm光刻膠項目)。

對(duì)于兩(liǎng)個光刻膠項目之間的聯系,南大光電此前在公告中強調,“ArF光刻膠開(kāi)發(fā)和産業化項目”與“193nm光刻膠材料的研發(fā)與産業化項目”系兩(liǎng)個獨立的項目。公司稱,投建新項目是爲加大對(duì)先進(jìn)光刻膠材料以及配套原材料的建設。