12月25日，北京耐威科技股份有限與國(guó)家集成(chéng)電路産業基金共同投資的賽萊克斯微系統科技(北京)有限公司“8英寸MEMS國(guó)際代工線建設項目首台設備搬入儀式”在北京市經(jīng)濟技術開(kāi)發(fā)區舉行。
據了解，該項目建成(chéng)後(hòu)將(jiāng)成(chéng)爲北京首條商業量産、全球業界最先進(jìn)的8英寸MEMS芯片生産線，最終達産後(hòu)將(jiāng)形成(chéng)年投片3萬片/月的生産能(néng)力
微機電系統（MEMS）是指用微機械加工技術制作的包括微傳感器、微緻動器、微能(néng)源等微機械基本部分，以及高性能(néng)的電子集成(chéng)線路組成(chéng)的微機電器件與裝置。MEMS傳感器作爲國(guó)際競争戰略的重要标志性産業，以其技術難度高、特色工藝性強，市場前景廣闊等特點備受世界各國(guó)的關注。
耐威科技 董事(shì)長(cháng)楊雲春表示，“大家熟悉的生産線側重二維空間，不斷讓芯片變得更小，而MEMS屬于集成(chéng)電路特色工藝，聚焦的是三維空間，芯片内部結構也縮小至納米量級，格外考驗芯片制造實力。”
賽萊克斯MEMS項目是經(jīng)開(kāi)區的重要項目之一。基于對(duì)市場需求前景及國(guó)内産業鏈現狀的判斷，耐威科技在經(jīng)開(kāi)區等多方支持下，全資收購瑞典Silex，月産3萬片的傳感器生産線落地北京亦莊，項目量産後(hòu)年産值不低于20億元。瑞典賽萊克斯董事(shì)聶鐵輪表示，北京8英寸MEMS國(guó)際代工線對(duì)标瑞典Silex的設置，配置、原材料和工藝等一一對(duì)應，确保工藝流程及産品生産的一緻性。
據了解，瑞典Silex掌握了矽通孔、晶圓鍵合、深反應離子刻蝕等多項在業内具備國(guó)際領先競争力的工藝技術和工藝模塊，擁有目前業界最先進(jìn)的矽通孔絕緣層工藝平台（TSI），已有超過(guò)10年的量産曆史、生産過(guò)超過(guò)數十萬片晶圓、100多種(zhǒng)不同的産品，技術可以推廣移植到2.5D和3D圓片級先進(jìn)封裝平台，爲全球知名或某些領域領先廠商提供過(guò)400餘項MEMS芯片的工藝開(kāi)發(fā)服務。
賽萊克斯設備搬入标志着經(jīng)開(kāi)區新一代信息技術産業發(fā)展迎來新生力量，一直以來，經(jīng)開(kāi)區爲項目建設、産業發(fā)展提供全方位的政策、環境和服務保障，經(jīng)開(kāi)區新一代信息技術産業呈現多點發(fā)力的喜人景象，區内聚集相關企業約50家，已形成(chéng)集設計、制造、封測、裝備、零部件及材料企業在内的完備産業鏈。1-11月，經(jīng)開(kāi)區新一代信息技術産業實現産值765.8億元。