去年4月，中芯國(guó)際向(xiàng)荷蘭ASML公司訂購了一台EUV光刻機，用于研究7nm及以下的先進(jìn)工藝。花費超過(guò)1.2億歐元（約10億人民币），預計今年底交貨，2020年正式安裝。來自日經(jīng)新聞消息稱，因爲受到美國(guó)政府關切，ASML將(jiāng)延後(hòu)對(duì)中國(guó)晶圓代工企業中芯國(guó)際出貨。
對(duì)此ASML與中芯國(guó)際均對(duì)此表示否定。
11月7日下午，ASML向(xiàng)《科創闆日報》獨家回應稱，對(duì)于日經(jīng)新聞報道(dào)的關于交貨時程僅爲其媒體推測，ASML從未評論或确認，對(duì)其將(jiāng)推測直接定性爲事(shì)實作爲新聞标題并在文中闡述，表示抗議。
ASML相關負責人強調：“實際上在我們第三季度财報中，就已經(jīng)將(jiāng)相關情況進(jìn)行說明，根據瓦聖納協議（Wassenaar Arrangement），ASML出口EUV到中國(guó)需取得荷蘭政府的出口許可（export license）。該出口許可于今年到期，ASML已經(jīng)于到期前重新進(jìn)行申請，目前正在等待荷蘭政府核準。因此，關于“ASML決定延遲/終止出貨”的說法是錯誤的，ASML系遵循法規行事(shì)，并一視同仁地服務我們全球客戶。”
對(duì)于何時能(néng)拿到許可證，ASML相關負責人表示，目前處于正常的流程狀态中，尚未掌握确切的時間。
中芯國(guó)際也進(jìn)行回應：“極紫外光（EUV）還(hái)在紙面(miàn)工作階段，未進(jìn)行相關活動。公司先進(jìn)工藝研發(fā)進(jìn)展順利。目前，研發(fā)與生産的連結一切正常，客戶與設備導入正常運作。”
ASML是全球EUV光刻機的唯一供應商，并且是全球市值最高的芯片設備制造商。ASML年收入約在 83 億歐元 (約 92 億美元) 左右。其中16%來自英特爾和美光等美國(guó)公司，19%來自中國(guó)。據了解，台積電、三星已于2019年導入量産最先端産品的EUV設備，且蘋果預計2020年下半開(kāi)賣的新型iPhone預估就會搭載采用該技術的CPU。
中芯國(guó)際是我國(guó)最大的半導體制造公司，今年14nm制程已經(jīng)實現量産，追平台聯電14nm制程工藝，如果未能(néng)準時拿到最先進(jìn)光刻機設備，或影響趕超台積電的日程表。
目前台積電台積電將(jiāng)包攬ASML今年的30台EUV光刻機中的18台，不過(guò)量産的7nm制程仍是基于DUV(深紫外）工藝，今年3月份才啓動7nm EUV的量産。而三星在去年就小規模投産了7nm EUV。