自科創闆推出以來，一大批集成(chéng)電路企業積極備戰科創闆，目前包括安集科技、中微公司、瀾起(qǐ)科技、華興源創、睿創微納、樂鑫科技、晶晨股份、以及上海晶豐明源在内的多家企業已經(jīng)成(chéng)功闖關。不過(guò)在這(zhè)些企業中，鮮少有涉及半導體設備的相關企業。
值得關注的是，目前一家來自北京的光刻機生廠商也計劃登錄科創闆。近日，北京證監局披露了關于北京華卓精科科技股份有限公司（以下簡稱“華卓精科”）首次公開(kāi)發(fā)行股票并在科創闆上市輔導工作報告(第三期)。
根據官網顯示，華卓精科注冊資金9600萬， 成(chéng)立時間爲2012年5月9日，由清華IC裝備團隊在清華大學(xué)及其下屬“北京-清華工業技術研究院”和02專項的支持下創立，主要面(miàn)向(xiàng)國(guó)内外的IC制造、光學(xué)、超精密制造等行業，緻力于爲行業提供整機裝備、核心子系統、關鍵零部件和定制服務，主營産品包含高端整機、超精密運動系統、精密儀器設備和高端特種(zhǒng)制造等方面(miàn)。現在已經(jīng)成(chéng)功推出了光刻機雙工件台、精密隔振、超精密運動系統、關鍵零部件等系列化産品。
華卓精科表示，其核心戰略産品光刻機雙工件台，打破了ASML公司在工件台上的技術壟斷，成(chéng)爲世界上第二家掌握雙工件台核心技術的公司。資料顯示，華卓精科生産的光刻機雙工件台主要應用于65nm及以下節點的ArF幹式、浸沒(méi)式步進(jìn)掃描光刻機、KrF步進(jìn)掃描光刻機，單台系列産品應用于i線、g線步進(jìn)掃描光刻機及封裝光刻機等。
2018年半年報顯示，華卓精科上半年實現營收3193.03萬元，同比增長(cháng)44.53%；實現歸屬于挂牌公司股東的淨利潤683.67萬元，同比下滑10.34%，淨利潤減少的主要原因是2018年公司加大研發(fā)投入，自主研發(fā)支出比上年同期增長(cháng)374萬元，費用化後(hòu)導緻淨利潤減少。
事(shì)實上，早在2015年，華卓精科曾在新三闆挂牌上市，但在2019年2月13日終止新三闆挂牌。而在退市之前，華卓精科分别在2018年10月和11月分别進(jìn)行了8700萬元的戰略融資以及7587.5萬元的定向(xiàng)增發(fā)，其中增發(fā)募集的7587.50萬元資金，主要用于公司半導體裝備關鍵零部件研發(fā)制造項目、補充流動資金、償還(hái)銀行貸款、購買土地使用權。
如今看來，華卓精科的兩(liǎng)次融資或許是爲轉戰科創闆做準備也未可知，至于最後(hòu)結果如何還(hái)有待後(hòu)續觀察。