日前,華爲旗下哈勃投資入股山東天嶽的消息,以碳化矽(SiC)、氮化镓(GaN)爲代表的第三代半導體材料再次走入大衆視野,引起(qǐ)業界重點關注。

事(shì)實上,随着半導體技術不斷進(jìn)步,對(duì)半導體器件性能(néng)、效率、小型化要求的越來越高,傳統矽半導體材料逐漸無法滿足性能(néng)需求,碳化矽、氮化镓等第三代半導體材料憑借着優異的性能(néng),早已成(chéng)爲當前世界各國(guó)競相布局的焦點,我國(guó)在加速發(fā)展集成(chéng)電路産業的同時,把發(fā)展第三代半導體技術列入國(guó)家戰略。

如今5G時代到來,將(jiāng)推動半導體材料實現革命性變化。其中,氮化镓器件以高性能(néng)特點廣泛應用于通信、國(guó)防等領域,其市場需求有望在5G時代迎來爆發(fā)式增長(cháng)。風口來臨,我國(guó)目前有哪些企業在布局?下面(miàn)將(jiāng)從襯底、外延片、制造及IDM幾大分類盤點國(guó)内氮化镓主要企業。

GaN襯底企業

· 東莞市中稼半導體科技有限公司

東莞市中镓半導體科技有限公司成(chéng)立于2009年1月,總部設于廣東東莞,總注冊資本爲1.3億元人民币,總部設立廠房辦公區等共17000多平方米,并在北京有大型研發(fā)中心,爲中國(guó)國(guó)内一家專業生産氮化镓襯底材料的企業。

官網顯示,中镓半導體已建成(chéng)國(guó)内首家專業的氮化镓襯底材料生産線,制備出厚度達1100微米的自支撐GaN襯底,并能(néng)夠穩定生産。2018年2月,中镓半導體實現4英寸GaN自支撐襯底的試量産。

· 東莞市中晶半導體科技有限公司

東莞市中晶半導體科技有限公司成(chéng)立于2010年,是廣東光大企業集團在半導體領域繼中镓半導體、中圖半導體後(hòu)布局的第三個重點産業化項目。

中晶半導體主要以HVPE設備等系列精密半導體設備制造技術爲支撐,以GaN襯底爲基礎,重點發(fā)展Mini/MicroLED外延、芯片技術,并向(xiàng)新型顯示模組方向(xiàng)延展;同時,中晶半導體將(jiāng)以GaN襯底材料技術爲基礎,孵化VCSEL、電力電子器件、化合物半導體射頻器件、車燈封裝模組、激光器封裝模組等國(guó)際前沿技術,并進(jìn)行全球産業布局。

· 蘇州納維科技有限公司

蘇州納維科技有限公司成(chéng)立于2007年,緻力于氮化镓單晶襯底的研發(fā)與産業化,實現了2英寸氮化镓單晶襯底的生産、完成(chéng)了4英寸産品的工程化技術開(kāi)發(fā)、突破了6英寸的關鍵技術,現在是國(guó)際上少數幾家能(néng)夠批量提供2英寸氮化镓單晶産品的單位之一。

據官網介紹,目前納維科技GaN單晶襯底産品已提供給300餘家客戶使用,正在提升産能(néng)向(xiàng)企業應用市場發(fā)展,重點突破方向(xiàng)是藍綠光半導體激光器、高功率電力電子器件、高可靠性高功率微波器件等重大領域。

· 镓特半導體科技(上海)有限公司

镓特半導體科技(上海)有限公司成(chéng)立于2015年4月,主要從事(shì)大尺寸的高質量、低成(chéng)本氮化镓襯底的生長(cháng),以推動諸多半導體企業能(néng)夠以合理價來購買并使用氮化镓襯底。镓特半導體已自主研發(fā)出HVPE設備,并用以生長(cháng)高質量的氮化镓襯底。

官網顯示,借助自主研發(fā)的HVPE設備,镓特半導體已成(chéng)功生長(cháng)出4英寸的自支撐氮化镓襯底。镓特半導體表示,未來幾年内將(jiāng)建成(chéng)全球最大的氮化镓襯底生長(cháng)基地,以此進(jìn)一步推廣氮化镓襯底在半導體材料市場上的廣泛應用,并將(jiāng)依托自支撐GaN襯底進(jìn)行中下遊的高端LED、電力電子及其他器件的研發(fā)和制造。

GaN外延片企業

· 蘇州晶湛半導體有限公司

蘇州晶湛半導體有限公司成(chéng)立于2012年3月,緻力于氮化镓(GaN)外延材料的研發(fā)和産業化。2013年8月,晶湛半導體開(kāi)始在蘇州納米城建設GaN外延材料生産線,可年産150mm氮化镓外延片2萬片;2014年底,晶湛半導體發(fā)布其商品化8英寸矽基氮化镓外延片産品。

官網介紹稱,截至目前,晶湛半導體已完成(chéng)B輪融資用于擴大生産規模,其150mm的GaN-on-Si外延片的月産能(néng)達1萬片。晶湛半導體現已擁有全球超過(guò)150家的著名半導體公司、研究院所客戶。

· 聚能(néng)晶源(青島)半導體材料有限公司

聚能(néng)晶源(青島)半導體材料有限公司成(chéng)立于2018年6月,專注于電力電子應用的外延材料增長(cháng)。針對(duì)外延材料市場,聚能(néng)晶源正在開(kāi)發(fā)矽基氮化镓材料生長(cháng)技術并銷售矽基氮化镓外延材料作爲産品。

2018年12月,聚能(néng)晶源成(chéng)功研制了達到全球業界領先水平的8英寸矽基氮化镓(GaN-on-Si)外延晶圓。該型外延晶圓在實現了650V/700V高耐壓能(néng)力的同時,保持了外延材料的高晶體質量、高均勻性與高可靠性,可以完全滿足産業界中高壓功率電子器件的應用需求。

· 北京世紀金光半導體有限公司

北京世紀金光半導體有限公司成(chéng)立于2010年12月,經(jīng)過(guò)多年發(fā)展,世紀金光已成(chéng)爲集半導體單晶材料、外延、器件、模塊的研發(fā)、設計、生産與銷售于一體的、貫通第三代半導體全産業鏈的企業。

在碳化矽領域,世紀金光已實現碳化矽全産業鏈貫通,氮化镓方面(miàn),官網顯示其目前則以氮化镓基外延片爲主。

· 聚力成(chéng)半導體(重慶)有限公司

聚力成(chéng)半導體(重慶)有限公司成(chéng)立于2018年9月,是重慶捷舜科技有限公司在大足區設立的公司。2018年9月,重慶大足區政府與重慶捷舜科技有限公司簽約,拟在重慶建設“聚力成(chéng)外延片和芯片産線項目”。

2018年11月,聚力成(chéng)半導體(重慶)有限公司舉行奠基儀式,項目正式開(kāi)工。該項目占地500畝,計劃投資50億元,將(jiāng)在大足高新區建設集氮化镓外延片、氮化镓芯片的研發(fā)與生産、封裝測試、産品設計應用爲一體的全産業鏈基地。2019年6月5日,該項目一期廠房正式啓用,預計將(jiāng)于今年10月開(kāi)始外延片的量産。

GaN制造企業

· 成(chéng)都(dōu)海威華芯科技有限公司

成(chéng)都(dōu)海威華芯科技有限公司成(chéng)立于2010年,是國(guó)内首家提供6英寸砷化镓/氮化镓微波集成(chéng)電路的純晶圓代工企業。據了解,海威華芯由海特高新和央企中電科29所合資組建,2015年1月,海特高新以5.55億元收購海威華芯原股東股權,并以增資的方式取得海威華芯52.91%的股權成(chéng)爲其控股股東,從而涉足高端化合物半導體集成(chéng)電路芯片研制領域。

海威華芯6英寸第二代/第三代半導體集成(chéng)電路芯片生産線已于2016年8月投入試生産。官網顯示,海威華芯已開(kāi)發(fā)了5G中頻段小于6GHz的基站用氮化镓代工工藝、手機用砷化镓代工工藝,發(fā)布了毫米波頻段用0.15um砷化镓工藝。砷化镓VCSEL激光器工藝、電力電子用矽基氮化镓制造工藝在2019年也取得了較大的進(jìn)展。

· 廈門市三安集成(chéng)電路有限公司

廈門市三安集成(chéng)電路有限公司成(chéng)立于2014年,是LED芯片制造公司三安光電下屬子公司,基于氮化镓和砷化镓技術經(jīng)營業務,是一家專門從事(shì)化合物半導體制造的代工廠,服務于射頻、毫米波、功率電子和光學(xué)市場,具備襯底材料、外延生長(cháng)以及芯片制造的産業整合能(néng)力。

三安集成(chéng)項目總規劃用地281 畝,總投資額30億元,規劃産能(néng)爲30萬片/年GaAs高速半導體外延片、30萬片/年GaAs高速半導體芯片、6萬片/年GaN高功率半導體外延片、6萬片/年GaN高功率半導體芯片。官網顯示,三安集成(chéng)在微波射頻領域已建成(chéng)專業化、規模化的4英寸、6英寸化合物晶圓制造産線,在電子電路領域已推出高可靠性、高功率密度的SiC功率二極管及矽基氮化镓功率器件。

· 華潤微電子有限公司

華潤微電子有限公司是華潤集團旗下負責微電子業務投資、發(fā)展和經(jīng)營管理的企業,亦是中國(guó)本土具有重要影響力的綜合性微電子企業,其聚焦于模拟與功率半導體等領域,業務包括集成(chéng)電路設計、掩模制造、晶圓制造、封裝測試及分立器件,目前擁有6-8英寸晶圓生産線5條、封裝生産線2條、掩模生産線1條、設計公司3家,爲國(guó)内擁有完整半導體産業鏈的企業。

2017年12月,華潤微電子完成(chéng)對(duì)中航(重慶)微電子有限公司(後(hòu)更名爲“華潤微電子(重慶)有限公司”)的收購,重慶華潤微電子采用8英寸0.18微米工藝技術進(jìn)行芯片生産,并在主生産線外建有獨立的MEMS和化合物半導體工藝線,具備氮化镓功率器件規模化生産制造能(néng)力。

· 杭州士蘭微電子股份有限公司

杭州士蘭微電子股份有限公司成(chéng)立于成(chéng)立于1997年,專業從事(shì)集成(chéng)電路芯片設計以及半導體相關産品制造,2001年開(kāi)始在杭州建了第一條5英寸芯片生産線,現已成(chéng)爲國(guó)内集成(chéng)電路芯片設計與制造一體(IDM)企業。

近年來,士蘭微逐步布局第三代化合物功率半導體。2017年,士蘭微打通一條6英寸的矽基氮化镓功率器件中試線。2018年10月,士蘭微廈門12英寸芯片生産線暨先進(jìn)化合物半導體生産線開(kāi)工,其中4/6英寸兼容先進(jìn)化合物半導體器件生産線總投資50億元,定位爲第三代功率半導體、光通訊器件、高端LED芯片等。

GaN IDM企業

· 蘇州能(néng)訊高能(néng)半導體公司

蘇州能(néng)訊高能(néng)半導體有限公司成(chéng)立于2011年,緻力于寬禁帶半導體氮化镓電子器件技術與産業化,爲5G移動通訊、寬頻帶通信等射頻微波領域和工業控制、電源、電動汽車等電力電子領域等兩(liǎng)大領域提供高效率的半導體産品與服務。

能(néng)訊半導體采用整合設計與制造(IDM)的模式,自主開(kāi)發(fā)了氮化镓材料生長(cháng)、芯片設計、晶圓工藝、封裝測試、可靠性與應用電路技術,目前公司擁有專利256項。該公司在江蘇建有一座氮化镓(GaN)電子器件工廠,廠區占地55畝,累計投資10億元。

· 江蘇能(néng)華微電子科技發(fā)展有限公司

江蘇能(néng)華微電子科技發(fā)展有限公司成(chéng)立于2010年6月,是由國(guó)家千人計劃專家朱廷剛博士領銜的、由留美留澳留日歸國(guó)團隊創辦的一家專業設計、研發(fā)、生産、制造和銷售以氮化镓爲代表的複合半導體高性能(néng)晶圓、以及用其做成(chéng)的功率器件、芯片和模塊的高科技公司。

能(néng)華微電子先後(hòu)承擔了國(guó)家電子信息産業振興和技術改造專項的大功率GaN功率電子器件及其材料的産業化項目、國(guó)家重點研發(fā)計劃戰略性先進(jìn)電子材料重點專項的GaN基新型電力電子器件關鍵技術項目等。2017年,能(néng)華微電子建成(chéng)8英寸氮化镓芯片生産線并正式啓用。

· 英諾賽科(珠海)科技有限公司

英諾賽科(珠海)科技有限公司成(chéng)立于2015年12月,該公司采用IDM 全産業鏈模式,緻力于打造一個集研發(fā)、設計、外延生長(cháng)、芯片制造、測試與失效分析爲一體的第三代半導體生産平台。2017年11月,英諾賽科的8英寸矽基氮化镓生産線通線投産,成(chéng)爲國(guó)内首條實現量産的8英寸矽基氮化镓生産線,主要産品包括30V-650V氮化镓功率與5G射頻器件。

2018年6月,總投資60億元的英諾賽科蘇州半導體芯片項目開(kāi)工,今年8月30日項目主廠房封頂,預計12月底生産設備正式進(jìn)廠,2020年可實現規模化量産。該項目聚焦在氮化镓和碳化矽等核心産品,將(jiāng)打造將(jiāng)成(chéng)爲集研發(fā)、設計、外延生産、芯片制造、分裝測試等于一體的第三代半導體全産業鏈研發(fā)生産平台。

· 大連芯冠科技有限公司

大連芯冠科技有限公司成(chéng)立于2016年3月,該公司采用整合設計與制造(IDM)的商業模式,主要從事(shì)第三代半導體矽基氮化镓外延材料及電力電子器件的研發(fā)、設計、生産和銷售,産品應用于電源管理、太陽能(néng)逆變器、電動汽車及工業馬達驅動等領域。

官網介紹稱,芯冠科技已建成(chéng)首條6英寸矽基氮化镓外延及功率器件晶圓生産線。2019年3月,芯冠科技在國(guó)内率先推出符合産業化标準的650伏矽基氮化镓功率器件産品(通過(guò)1000小時HTRB可靠性測試),并正式投放市場。

· 江蘇華功半導體有限公司

江蘇華功半導體有限公司成(chéng)立于2016年5月,注冊資本爲2億元人民币,一期投入10億元人民币。官網介紹稱,目前公司已全面(miàn)掌握大尺寸Si襯底高電導、高耐壓、高穩定性的GaN外延技術并掌握具有自主知識産權的增強型功率電子器件制造技術。

根據官網顯示,華功半導體可提供2英寸、4英寸、6英寸及8英寸GaN-on-Si功率電子器件用外延片産品,并基于華功自有知識産權的GaN-on-Si外延技術設計和制造,提供650V/5A-60A系列化高速功率器件。

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