據合肥高新集團報道(dào)，合肥微納傳感技術有限公司通過(guò)科研攻關，自主研發(fā)MEMS紅外溫度傳感器芯片。該芯片可以完成(chéng)進(jìn)口替代，是疫情防控利器額溫槍的核心部件。
基于多年傳感器芯片的研究基礎，微納傳感研發(fā)的MEMS紅外溫度傳感器芯片性能(néng)指标精度達到0.1℃，抗幹擾能(néng)力優于目前市場主流産品，可以完成(chéng)進(jìn)口替代。芯片采用CMOS（互補金屬氧化物半導體）工藝制作，具有高探測率、高穩定性、極小溫漂系數，可廣泛應用于耳溫、額溫、安防、微波爐等非接觸測溫場合。
目前，經(jīng)産能(néng)擴大，微納傳感的相關傳感器芯片制造、組封裝日産量從1萬顆將(jiāng)提升到日産10萬顆以上，芯片將(jiāng)直接供應至防疫醫療産品生産單位，能(néng)夠有效緩解市場緊張，助力疫情防控工作。
微納傳感自2015年創辦以來一直緻力于MEMS氣體、空氣流量、溫度等傳感器芯片的研發(fā)與生産，擁有多項涉及MEMS關鍵技術的研究成(chéng)果和發(fā)明專利。公司建有1000㎡淨化實驗室、200㎡表征實驗室，百級潔淨間（ISO Class 5）500㎡，引進(jìn)國(guó)内外先進(jìn)加工、制造、表征裝備，建成(chéng)完備工藝生産線。2019年獲評工信部工業強基工程傳感器“一條龍”示範企業。