據北京亦莊官方消息，位于北京經(jīng)開(kāi)區的北京京儀自動化裝備技術有限公司（以下簡稱“京儀裝備”），成(chéng)功研發(fā)出國(guó)内首台晶圓自動翻轉倒片機，破解了國(guó)産晶圓自動翻轉倒片機自動化難題。
晶圓自動翻轉倒片機是一項難度極高的工藝，用力過(guò)猛容易導緻晶圓表面(miàn)破損，力度太小晶圓則會自動脫落，加之晶圓表面(miàn)的高精密性，倒片機隻能(néng)夾住晶圓的兩(liǎng)邊進(jìn)行自動翻轉，這(zhè)就給自動翻轉倒片機的研發(fā)帶來了難題。
據了解，晶圓倒片機是用來調整集成(chéng)電路産線上晶圓生産材料序列位置的一款設備，它的任務是將(jiāng)産線上的晶圓通過(guò)制程需要進(jìn)行分批、合并、翻轉後(hòu)進(jìn)行下一道(dào)程序，這(zhè)就要求晶圓倒片機擁有極高的傳送效率和潔淨程度。
目前，京儀裝備研發(fā)的首台晶圓自動翻轉倒片機已經(jīng)在上海集成(chéng)電路研發(fā)中心得到成(chéng)功應用。早期型号倒片機則已經(jīng)在中芯國(guó)際、長(cháng)江存儲等多家企業得到應用。