近日,安徽省經(jīng)信廳引發(fā)《重點領域補短闆産品和關鍵技術攻關任務揭榜工作方案》(以下簡稱“方案”)。

根據《方案》,安徽省將(jiāng)聚焦新一代電子信息、智能(néng)裝備、新材料等重點領域,組織具備較強創新能(néng)力的企業揭榜攻關,通過(guò)2-3年時間,重點突破一批制約産業發(fā)展的關鍵技術,培育一批優勢産品,做強一批優勢企業,不斷提高制造業自主可控水平,促進(jìn)制造業高質量發(fā)展。

目前,安徽省已經(jīng)以制造業重大發(fā)展需求爲目标,以突破産業關鍵技術短闆爲導向(xiàng),着眼有基礎可産業化、突出産業帶動性,在10個重點領域、50個重點方向(xiàng)中确定了104項揭榜任務,其中包括多項集成(chéng)電路産業的揭榜任務。

以下爲部分集成(chéng)電路産業揭榜任務:

射頻氮化镓單晶襯底的主要任務爲面(miàn)向(xiàng)高端射頻領域,如軍用相控雷達、5G通信基站、衛星通訊等,開(kāi)展基于自支撐技術的高質量、大尺寸、半絕緣型的氮化镓襯底生長(cháng)及物性調控的研發(fā)與量産。

低功耗高速率LPDDR5 DRAM産品開(kāi)發(fā)的主要任務爲面(miàn)向(xiàng)中高端移動、平闆及消費類産品DRAM存儲芯片自主可控需求,研發(fā)先進(jìn)低功耗高速率LPDDR5 産品并實現産業化,依托DRAM 17nm及以下工藝,攻關高速接口技術、Bank Group架構設計技術、低功耗電源(電壓)技術、片内糾錯編碼(On-Die ECC)技術,完成(chéng)低功耗高速率LPDDR5 DRAM産品開(kāi)發(fā)。

15/14nm DRAM存儲芯片先進(jìn)工藝開(kāi)發(fā)及産品研發(fā)的主要任務爲圍繞未來雲計算、人工智能(néng)等對(duì)DRAM存儲芯片小尺寸、大容量、高速度的需求,進(jìn)行15/14nm DRAM存儲芯片制造工藝開(kāi)發(fā),并實現産業化。

DRAM存儲芯片專用封裝工藝鋁重新布線層(Al RDL)工藝開(kāi)發(fā)的主要任務爲圍繞先進(jìn)DRAM産品工藝開(kāi)發(fā)需求,開(kāi)展鋁重新布線層工藝開(kāi)發(fā)并實現産業化應用,采用氣相沉積氧化矽厚膜作爲保護層降低材料應力,攻關濺鍍厚鋁技術替代電鍍銅(鎳钯金)技術,通過(guò)鋁替代銅作爲重新布線層,解決先進(jìn)DRAM産品封裝良率低、成(chéng)本高、周期長(cháng)等問題。

5nm計算光刻國(guó)産化,該任務的研究内容包括:計算光刻EDA軟件,提供高度智能(néng)化、自動化的EDA仿真軟件,含OPC和SMO兩(liǎng)大核心技術,同時將(jiāng)版圖到掩膜版數據轉換的全流程囊括其中,增加工藝探索、建模、圖形驗證、圖形校正、數據準備5大模塊,各個模塊可以獨立操作又能(néng)有效串連,對(duì)光刻工藝步驟構建适合的軟件模型,以純軟件模型取代工程實驗,達到降低研發(fā)成(chéng)本的效果。通過(guò)内建人工智能(néng)算法引擎,從而提高收斂準确性,支持5nm光刻工藝和多重圖形化(Multiple-Patterning)技術,實現Patterning圖形全流程自動化,最大程度減少對(duì)人的依賴,還(hái)起(qǐ)到了提高開(kāi)發(fā)效率、減少人力成(chéng)本、縮短開(kāi)發(fā)時間的作用。

定位下一代EDA的5nm工藝研發(fā)DTCO平台,主要内容包括:將(jiāng)光刻工藝研發(fā)和器件工藝研發(fā)流程整合的工藝研發(fā)流程。包括七大模塊:1.性能(néng)評價模塊 2.功耗評價模塊 3.面(miàn)積評估模塊 4.制程成(chéng)本評估模塊 5.制程可行性評估模塊 6.智能(néng)設計規則管理系統 7.DTCO協作請求與控制系統。通過(guò)此DTCO平台, 工藝研發(fā)人員將(jiāng)從研發(fā)早期确定技術路線,對(duì)性能(néng)功耗面(miàn)積的持續優化,評估工藝條件的可行性與成(chéng)本,決定設計規則窗口,引入研發(fā)組織協作流程,將(jiāng)龐大的工藝研發(fā)信息納入統一管理,降低工藝研發(fā)成(chéng)本,提高效率。 

5G高抑制n77頻帶帶通濾波器的主要内容爲實現高抑制Hybrid 5G n77濾波器産品研發(fā)并産業化,解決射頻前端芯片“卡脖子”難題。

基于5G通訊的LTCC射頻器件研發(fā)與産業化的主要内容爲突破LTCC三維布局、傳輸零點的引入方法、LTCC濾波器的計算機輔助診斷與調試等關鍵技術。

國(guó)産化智能(néng)語音芯片研發(fā)的主要任務爲:1.完全自研、自定義的DSP和AI加速器的指令和IP的研究設計;2.專用IP設計以及驗證:完成(chéng)AI加速器微架構設計,指令集設計,用RTL實現并驗證,主要包括:1)AI加速器微架構設計,它可以較好(hǎo)的平衡各種(zhǒng)算力需求和設計複雜度;2)針對(duì)人工智能(néng)算子,設計出AI加速指令。

存儲器芯片生産自動測試設備研發(fā)的主要任務包括1.ATE行業最高集成(chéng)度的核心儀表闆;2.行業最高的系統配置能(néng)力;3.行業内最高生産并行測試能(néng)力。