随着聯電、格芯相繼宣布放棄競逐先進(jìn)制程以及台積電宣布新建8英寸晶圓廠,集成(chéng)電路制造業發(fā)展風向(xiàng)似乎開(kāi)始轉變:先進(jìn)制程不再是唯一制勝點,8英寸廠仍大有所爲。而随着AI、5G、物聯網等殺手級應用市場日益崛起(qǐ),特色工藝的重要性正在逐漸凸顯。

與沿着摩爾定律不斷追求晶體管縮小的先進(jìn)制程不同,特色工藝不完全追求器件的縮小,而是根據不同的物理特性生産不同的産品,包括BCD、CMOS圖像傳感器、功率器件、IGBT、電源管理芯片、射頻器件/無線技術、微機械系統/傳感器、嵌入式存儲器、新型存儲器等。

上述特色工藝産品均是物聯網、汽車電子等相關應用領域和市場需求的基石,近年來物聯網、汽車電子等發(fā)展勢頭強勁、未來亦是大趨勢,市場將(jiāng)有望迎來爆發(fā)式增長(cháng),國(guó)内外晶圓制造/IDM企業似乎已着手布局。

縱觀晶圓大廠動向(xiàng),2018年三星電子宣布開(kāi)始對(duì)外提供成(chéng)熟的8英寸晶圓代工技術解決方案,爲中小型企業提供多項目晶圓服務(MPW)。據悉,三星提供的解決方案包括eFlash、顯示器驅動IC、指紋傳感器、RF/IoT等,業界認爲三星此舉的目标爲争奪特色工藝晶圓代工市場。

随後(hòu),2018年12月台積電宣布將(jiāng)于台南新增1座8英寸晶圓廠,這(zhè)是其繼2003年以來再建8英寸新廠,而該座新廠將(jiāng)專門提供特色工藝。一位業内人士向(xiàng)筆者表示,鑒于目前及未來特色工藝需求旺盛,爲保持在特色工藝方面(miàn)的競争力是台積電此番新建晶圓廠的主要考量之一。

再看大陸市場,一方面(miàn),中國(guó)大陸是全球最大的物聯網、汽車電子等應用領域消費市場,另一方面(miàn),大陸晶圓代工企業與國(guó)際先進(jìn)水平存在着1.5到2代的代差,以成(chéng)熟制程爲主的特色工藝更爲匹配。因此,大陸制造企業在努力追趕先進(jìn)制程的同時,特色工藝亦爲發(fā)展重點,如中芯國(guó)際、華虹集團就一直采取先進(jìn)制程、特色工藝“雙管齊下”策略。

在過(guò)去一年裡(lǐ),發(fā)展特色工藝似乎成(chéng)爲了業内共識。2018年11月,中國(guó)電子信息産業發(fā)展研究院攜手華潤微電子等近40家産業鏈上下遊企業、科研院所等,聯合倡議成(chéng)立了集成(chéng)電路特色工藝聯盟。此外,近兩(liǎng)年來大陸晶圓制造生産線“遍地開(kāi)花”,2018年迎來了中芯國(guó)際、華虹集團、士蘭微等多家重量級企業的特色工藝生産線開(kāi)建。

下面(miàn)盤點一下2018年大陸開(kāi)工建設的主要特色工藝生産線——

華虹無錫12英寸特色工藝生産線

2017年8月,華虹集團與無錫市政府簽署總投資超過(guò)100億美元的戰略合作協議,將(jiāng)無錫作爲華虹在上海金橋、張江、康橋以外的第四個制造基地;2017年10月,華虹宏力與大基金等合資設立華虹半導體(無錫)有限公司。

2018年3月,華虹無錫集成(chéng)電路研發(fā)和制造基地項目舉行開(kāi)工儀式。該占地約700畝,總投資100億美元,一期項目總投資約25億美元,新建一條工藝等級90-65納米、月産能(néng)約4萬片的12英寸特色工藝集成(chéng)電路生産線,支持5G和物聯網等新興領域的應用。

華虹無錫基地項目將(jiāng)分期建設數條12英寸集成(chéng)電路生産線。首期項目實施後(hòu),將(jiāng)适時啓動第二條生産線建設。一期工程目前已完成(chéng)主體結構工程,進(jìn)入動力機電安裝階段,計劃將(jiāng)于2019年上半年完成(chéng)土建施工,下半年完成(chéng)淨化廠房建設和動力機電設備安裝、通線并逐步實現達産。

中芯集成(chéng)8英寸特色工藝生産線

2018年3月,中芯國(guó)際與紹興市委政府、盛洋集團共同出資設立中芯集成(chéng)電路制造(紹興)有限公司,中芯國(guó)際微機電和功率器件産業化項目正式落地紹興。

2018年5月18日,中芯集成(chéng)電路制造(紹興)項目舉行開(kāi)工奠基儀式。該項目首期投資金額58.8億元,建立一條8英寸生産線,將(jiāng)聚焦于微機電(MEMS)和功率器件等集成(chéng)電路特色工藝制造,包括晶圓與模組代工,打造綜合性的特色工藝基地。該項目將(jiāng)于2019年3月完成(chéng)廠房結構封頂、9月設備搬入、2020年1月正式投産。

積塔半導體8-12英寸特色工藝生産線項目

2017年12月,中國(guó)電子信息産業集團旗下華大半導體與上海臨港管委會、臨港集團簽署三方協議,將(jiāng)一起(qǐ)打造特色工藝生産線建設項目,積塔半導體負責該項目的後(hòu)期建設和運營。

2018年8月,上海積塔半導體特色工藝生産線項目正式開(kāi)工。該項目占地面(miàn)積23萬平方米,項目總投資359億元,將(jiāng)打造重點面(miàn)向(xiàng)工業控制和汽車電子、電力能(néng)源等高端應用建設月産能(néng)6萬片的8英寸生産線和5萬片12英寸特色工藝生産線,項目計劃于2020年一階段工程竣工投産,目前項目建設總體進(jìn)展順利,絕大部分樁基工程已完成(chéng)。

士蘭微12英寸特色工藝芯片生産線

2017年12月,士蘭微電子與廈門市海滄區人民政府簽署了《戰略合作框架協議》。士蘭微電子公司與廈門半導體投資集團有限公司共同投資220億元人民币,在廈門規劃建設兩(liǎng)條12吋90~65nm的特色工藝芯片生産線和一條4/6吋兼容先進(jìn)化合物半導體器件生産線。

2018年10月,士蘭微廈門12英寸特色工藝芯片生産線暨先進(jìn)化合物半導體生産線項目正式開(kāi)工。兩(liǎng)條12英寸特色工藝芯片生産線總投資170億元、占地約190畝,根據規劃,第一條12英寸生産線總投資70億元、工藝線寬90nm,達産規模8萬片/月,分兩(liǎng)期實施:一期總投資50億元,實現月産能(néng)4萬片;項目二期總投資20億元,新增月産能(néng)4萬片。第二條12英寸生産線爲項目三期,預計總投資100億元,工藝線寬65nm–90nm。