沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）生産的前道(dào)塗膠顯影機，通過(guò)了北方集成(chéng)電路技術創新中心（北京）有限公司的驗證。據人民網報道(dào)，這(zhè)意味着，打破國(guó)外壟斷、填補國(guó)内空白的國(guó)産塗膠顯影設備開(kāi)始大批量走向(xiàng)市場。
資料顯示，芯源微成(chéng)立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起(qǐ)創建的國(guó)家高新技術企業，目前主要從事(shì)半導體專用設備的研發(fā)、生産和銷售，産品包括光刻工序塗膠顯影設備（塗膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），産品可用于6英寸及以下單晶圓處理（如LED芯片制造環節）及8/12英寸單晶圓處理（如集成(chéng)電路制造前道(dào)晶圓加工及後(hòu)道(dào)先進(jìn)封裝環節）。
2019年12月16日，芯源微在上海證券交易所科創闆上市，成(chéng)爲了遼甯省科創闆“第一股”和中科院第一家科創闆上市企業。根據此前的招股書披露，芯源微拟向(xiàng)社會公開(kāi)發(fā)行不超過(guò)2,100萬股，計劃募集資金3.78億元投入高端晶圓處理設備産業化項目、高端晶圓處理設備研發(fā)中心項目兩(liǎng)大項目。
2019年度報告顯示，芯源微生産的前道(dào)塗膠顯影設備于2018年下半年分别發(fā)往上海華力、長(cháng)江存儲進(jìn)行工藝驗證，其中上海華力機台爲前道(dào)Barc（抗反射層）塗覆設備，已于2019年9月通過(guò)工藝驗證并确認收入；長(cháng)江存儲機台爲前道(dào)塗膠顯影設備，目前仍在驗證中。通過(guò)在上海華力、長(cháng)江存儲的驗證與改進(jìn)，公司光刻工序前道(dào)塗膠顯影設備在多個關鍵技術方面(miàn)取得突破，技術成(chéng)果已應用到新産品、新客戶，截至目前，已陸續獲得了株洲中車、青島芯恩、上海積塔、甯波中芯、昆明京東方、廈門士蘭等多個前道(dào)大客戶的訂單。
而集成(chéng)電路前道(dào)晶圓加工領域用清洗機Spin Scrubber設備的各項指标均得到明顯改善或提升，已經(jīng)達到國(guó)際先進(jìn)水平。該類設備已在中芯國(guó)際、上海華力等多個客戶處通過(guò)工藝驗證，截至目前已獲得國(guó)内多家晶圓廠商的重複訂單。
此外，芯源微生産的光刻工序塗膠顯影設備與單片式濕法設備，已經(jīng)從傳統的先進(jìn)封裝領域、LED領域拓展到MEMS、化合物、功率器件、特種(zhǒng)工藝等領域，截至目前已累計銷售800餘台套，已作爲主流機型應用于台積電、長(cháng)電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等國(guó)内一線大廠。