6月2日，上海至純潔淨系統科技股份有限公司（以下簡稱“至純科技”）在投資者互動平台上表示，公司目前在建的晶圓再生項目，建設期爲2019年-2020年，運營期爲2021年-2027年，項目預計在2023年達到計劃産量。
根據至純科技2019年12月18日發(fā)布的《至純科技公開(kāi)發(fā)行可轉換公司債券募集說明書》顯示，至純科技拟發(fā)行可轉債規模不超過(guò)35,600萬元（含35,600萬元），在扣除發(fā)行費用後(hòu)的淨額用于投資半導體濕法設備制造項目和晶圓再生項目。
其中晶圓再生項目投資總額爲21,000.00萬元，建設内容主要包括生産車間建設及設備購置。項目建成(chéng)後(hòu)，主要開(kāi)展再生晶圓的加工服務，本項目達産後(hòu)，將(jiāng)實現年産12英寸矽再生晶圓84萬片的産出能(néng)力。公告顯示，本次項目的實施主體爲合肥至微半導體有限公司（以下簡稱“合肥至微半導體”），合肥至微半導體系至微半導體（上海）有限公司的全資子公司，至微半導體（上海）有限公司系公司持股90%的控股子公司。
此外，至純科技還(hái)披露，截至2019年末，公司已累計獲得40台設備訂單，完成(chéng)近20台設備裝機。據至純科技此前發(fā)布的019年度報告顯示，2018年度取得訂單的中芯、萬國(guó)、德州儀器、燕東、華潤等用戶的第一批裝備基本完成(chéng)交付，中芯已有6台裝備投入使用，包括清洗、刻蝕、金屬剝離、晶圓回收等多個工藝。
2019年，以上客戶中除萬國(guó)以外均有重複訂單購買公司濕法裝備，這(zhè)是對(duì)于首批交付産品在實際生産中使用結果的最佳反饋。同時，公司濕法裝備的新訂單中增加了華虹集團ICRD、中車、台灣力晶、湖南楚微、新昇、瀚天天成(chéng)、華爲等用戶，新增訂單中包括12英寸單片設備，新增訂單中有中車IGBT、瀚天天成(chéng)碳化矽外延等産線。
至純科技表示，2020年，公司將(jiāng)以啓東廠區第一期産能(néng)48台爲目标。