據新華社報道(dào)，由中國(guó)電子科技集團旗下電科裝備自主研制的高能(néng)離子注入機成(chéng)功實現百萬電子伏特高能(néng)離子加速，性能(néng)達國(guó)際主流先進(jìn)水平。
據悉，離子注入機是芯片制造中至關重要的核心關鍵裝備。集成(chéng)電路領域離子注入機包括三種(zhǒng)機型，大束流離子注入機、中束流離子注入機和高能(néng)離子注入機。
目前世界範圍内以集成(chéng)電路領域離子注入機爲主要業務的公司共有6家，分别爲美國(guó)AMAT/Varian和Axcelis、日本SMIT和Nissin、中國(guó)台灣地區AIBT、以及國(guó)内電科裝備。
其中，Axcelis的前身爲Eaton，在高能(néng)離子注入機領域占據了近乎壟斷地位。
電科裝備離子注入機總監張叢表示，電科裝備將(jiāng)在年底前推出首台高能(néng)離子注入機，實現我國(guó)芯片制造領域全系列離子注入機自主創新發(fā)展，并將(jiāng)爲全球芯片制造企業提供離子注入機成(chéng)套解決方案。
官網信息顯示，中國(guó)電子科技集團有限公司成(chéng)立于2002年3月，主要從事(shì)國(guó)家重要軍民用大型電子信息系統的工程建設，重大電子裝備、軟件、基礎元器件和功能(néng)材料的研制、生産及保障服務。
據悉，電科裝備在離子注入機領域具有較好(hǎo)的技術積澱，此前已連續突破中束流、大束流、特種(zhǒng)應用及第三代半導體等離子注入機産品研發(fā)及産業化難題，産品廣泛服務于全球知名芯片制造企業。