10月21日，上交所科創闆上市委員會召開(kāi)了2019年第35次審議會議，根據審議結果顯示，同意沈陽芯源微電子設備股份有限公司（以下簡稱“芯源微”）發(fā)行上市。這(zhè)是繼中微公司、安集科技、晶晨股份、睿創微納、華興源創、瀾起(qǐ)科技、樂鑫科技、晶豐明源等企業之後(hòu)，又一家半導體企業正式登陸科創闆。
7月12日，芯源微科創闆上市申請獲受理。據招股書披露，芯源微拟向(xiàng)社會公開(kāi)發(fā)行不超過(guò)2,100萬股，計劃募集資金3.78億元投入高端晶圓處理設備産業化項目、高端晶圓處理設備研發(fā)中心項目兩(liǎng)大項目。
芯源微成(chéng)立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起(qǐ)創建的國(guó)家高新技術企業，目前主要從事(shì)半導體專用設備的研發(fā)、生産和銷售，産品包括光刻工序塗膠顯影設備（塗膠/顯影機、噴膠機）和單片式濕法設備（清洗機、去膠機、濕法刻蝕機），産品可用于6英寸及以下單晶圓處理（如LED芯片制造環節）及8/12英寸單晶圓處理（如集成(chéng)電路制造前道(dào)晶圓加工及後(hòu)道(dào)先進(jìn)封裝環節）。
根據招股書（上會稿），芯源微集成(chéng)電路制造前道(dào)晶圓加工環節用塗膠顯影設備于2018年下半年分别發(fā)往上海華力、長(cháng)江存儲進(jìn)行工藝驗證，對(duì)應訂單金額合計爲3265.40萬元（含稅），其中，上海華力機台已于2019年9月通過(guò)工藝驗證并确認收入，長(cháng)江存儲機台仍在驗證中。
芯源微表示，通過(guò)募投項目的實施，有助于加速公司與浸沒(méi)式光刻技術（ArFi）相匹配的塗膠顯影設備的研發(fā)，掌握更爲先進(jìn)的設備制造及成(chéng)套工藝技術，從而彌補我國(guó)該領域設備市場的空白，推進(jìn)高端半導體專用設備國(guó)産化進(jìn)程，提升我國(guó)半導體産業的整體競争力。