日前，外媒曾經(jīng)報導，因爲受限于中美貿易摩擦的情勢，全球最大半導體光刻設備供應商ASML停止了對(duì)中芯國(guó)際的極紫外光刻設備(EUV)的出貨。此事(shì)不但造成(chéng)業界震撼，還(hái)導緻中芯國(guó)際的股價重挫。
但ASML随即發(fā)出聲明表示，公司并非停止出口設備給中芯國(guó)際，而是在等出口許可中。ASML還(hái)在聲明中指出，我們對(duì)客戶一視同仁，并在出口許可證到期前向(xiàng)荷蘭政府提出了申請。雖然EUV設備的最大買家是台積電和三星，但ASML卻也不會忽視未來會發(fā)展的中國(guó)市場。
中芯國(guó)際董事(shì)長(cháng)周子學(xué)也在日前指出，目前ASML的EUV出口許可問題已經(jīng)解決，但仍將(jiāng)嚴密觀察ASML是否將(jiāng)很快實際供應EUV設備。
根據韓國(guó)媒體《ETnews》的報導指出，中芯國(guó)際董事(shì)長(cháng)周子學(xué)在訪問韓國(guó)的過(guò)程中表示，中芯國(guó)際目前正在進(jìn)行EUV設備進(jìn)口的文書作業，對(duì)于進(jìn)口EUV設備的許可問題現在已經(jīng)解決，這(zhè)也使得先進(jìn)制程的研發(fā)也依照計劃進(jìn)行中。
周子學(xué)強調，該情況顯示在目前的情況下，中芯國(guó)際發(fā)展先進(jìn)制程的計劃并沒(méi)有受到任何的影響。此外，中芯國(guó)際稱，其進(jìn)口ASML的EUV設備就是用在7納米制程的研發(fā)上，已縮小與領先廠商間的差距。