6月17日，韓國(guó)SK Materials表示，該公司已于近期開(kāi)始了高純度(99.999%)氟化氫(蝕刻氣體)量産。由于純度已達到一定程度，三星電子及SK海力士也都(dōu)導入使用。
根據《日本經(jīng)濟新聞》17日報導，SK Materials的99.999%(5N)高純度氟化氫，雖然在純度上遜于日本産的99.999999999%(11N)超高純度氟化氫，但是已被用于晶圓清洗等部分制程。
随着高純度氟化氫被用于半導體的清洗用途，也由于半導體制程的微細化，需求量也跟着快速增加。
2019年11月。SK Materials成(chéng)立了相關材料的研發(fā)中心。在研發(fā)過(guò)程中成(chéng)功的試作出高純度氟化氫，也在韓國(guó)慶尚北道(dào)的榮州工廠，設置了年産量15公噸規模的生産設備，逐步的朝着國(guó)産化目标邁進(jìn)。計劃在2023年前，國(guó)産化的比率要拉高到70%。
此前，韓國(guó)半導體業，100%依賴日本等國(guó)所生産的高純度氟化氫。不過(guò)2019年7月開(kāi)始，日本針對(duì)出口到韓國(guó)的高純度氟化氫、氟化聚醯亞胺，以及光阻劑等3種(zhǒng)先進(jìn)化學(xué)品，實施了嚴格的出口管制。這(zhè)也使得日本在出口這(zhè)些化學(xué)原料時，必須一一接受當局審核才得以放行。
也由于這(zhè)幾種(zhǒng)化學(xué)原料，是OLED面(miàn)闆及半導體生産所不可或缺的，嚴重關系到韓國(guó)電子業的未來發(fā)展。韓國(guó)也立即展開(kāi)動作，一方面(miàn)尋找日本之外的供貨來源，另一方面(miàn)也在政府支援下積極的推動國(guó)産化。
此外，韓國(guó)的Soulbrain，也展開(kāi)了純度99.999%以上的液态氟化氫生産。