據上觀新聞指出，中科院上海微系統所創新實驗室正在加緊建設，計劃今年9月完成(chéng)實驗室建設，中試生産8英寸石墨烯單晶晶圓等多種(zhǒng)産品。
2019年9月，中科院上海微系統所與上海市石墨烯功能(néng)型平台簽約合作，由後(hòu)者的創新實驗室承擔中試工作，擴大石墨烯晶圓等産品的生産規模。通過(guò)建設創新實驗室，實現8英寸石墨烯單晶晶圓、4英寸鍺基石墨烯晶圓、大面(miàn)積六方氮化硼介質薄膜的中試生産。
據中科院上海微系統所研究員吳天如表示，該研究所已經(jīng)掌握了石墨烯單晶晶圓可控制備技術，實現了4—8英寸單晶的小批量生産。
據悉，中科院上海微系統所在國(guó)際上首次實現了半導體鍺基石墨烯CVD（化學(xué)氣相沉積）制備，研制出4英寸鍺基石墨烯晶圓。迄今爲止，中科院上海微系統所在石墨烯材料制備與器件應用領域已申請100餘項專利，授權70餘項，其中國(guó)際專利9項。