12月8日,首屆“臨港新片區投資論壇”在上海舉行。

國(guó)内半導體設備龍頭中微半導體設備(上海)股份有限公司董事(shì)長(cháng)兼首席執行官尹志堯表示,將(jiāng)建立一個臨港半導體設備和材料産業基地,其中有研發(fā)中心、大規模生産基地、銷售和結算中心、産品投資平台,集成(chéng)電路工業互聯網平台。

尹志堯指出,臨港新片區承載國(guó)家戰略使命,立足“卡脖子”和新興産業關鍵技術環節的創新發(fā)展,對(duì)集成(chéng)電路産業政策支持力度非常大,這(zhè)裡(lǐ)將(jiāng)成(chéng)爲世界級先進(jìn)集成(chéng)電路産業高地。

作爲科創闆首批上市企業,中微半導體成(chéng)立于2004年5月,是我國(guó)集成(chéng)電路設備行業的領先企業,主要從事(shì)高端半導體設備的研發(fā)、生産和銷售。自成(chéng)立以來,其主要業務是開(kāi)發(fā)加工微觀器件的大型真空工藝設備,目前開(kāi)發(fā)的産品以集成(chéng)電路前道(dào)生産的等離子體刻蝕設備、薄膜沉積設備等關鍵設備爲主,并已逐步開(kāi)發(fā)應用于後(hòu)道(dào)先進(jìn)封裝、MEMS、Mini LED、Micro LED等領域的泛半導體設備産品。

中微半導體刻蝕設備的重要代表客戶包括台積電、中芯國(guó)際、聯華電子、華力微電子、海力士、華邦電子、晶方科技、格芯、博世、意法半導體等國(guó)内外知名集成(chéng)電路企業,MOCVD設備也已被三安光電、華燦光電、乾照光電、璨揚光電等多家一流LED外延片及芯片制造廠商大批量采購。