繼1月2日，中微中标長(cháng)江存儲9台刻蝕設備訂單後(hòu)，武漢精測電子集團股份有限公司（以下簡稱“精測電子”）也迎中标訂單。
據中國(guó)國(guó)際招标網消息，1月17日，精測電子控股子公司上海精測半導體技術有限公司（簡稱“上海精測”）中标長(cháng)江存儲的3台集成(chéng)式膜厚光學(xué)關鍵尺寸量測儀。
資料顯示，上海精測成(chéng)立于2018年7月，主要從事(shì)以半導體測試設備爲主的研發(fā)、生産和銷售，同時也開(kāi)發(fā)一部分顯示和新能(néng)源領域的檢測設備。公司以橢圓偏振技術爲核心，在1年多時間内開(kāi)發(fā)了膜厚測量以及光學(xué)關鍵尺寸測量系統，包括集成(chéng)式膜厚測量機EFILM 300IM、集成(chéng)單/雙模塊膜厚測量機EFILM 300DS、高性能(néng)膜厚及OCD測量機EPROFILE 300FD等産品型号。
當前，上海精測已獲國(guó)家大基金入股。天眼查公開(kāi)信息顯示，2019年12月，上海精測已完成(chéng)股權變更，新增了國(guó)家大基金、上海半導體等7個股東，注冊資本也有此前的1億元增加至6.5億元，其中國(guó)家大基金一期注資1億，對(duì)上海精測半導體持股4%，爲并列第二大股東。
近日，上海精測實現3台來自長(cháng)江存儲的集成(chéng)式膜厚光學(xué)關鍵尺寸量測儀訂單，表明上海精測已具備晶圓制造環節的膜厚量測設備重複、批量供應能(néng)力。
事(shì)實上，近年來，國(guó)産量測設備廠商已經(jīng)陸續獲得長(cháng)江存儲訂單，例如上海睿勵2017年底拿到長(cháng)江存儲2台膜厚設備訂單；中科飛測也拿到了長(cháng)江存儲等大廠的訂單；上海精測中标3台膜厚量測設備。